[實用新型]一種半導體激光器激光功率實時在線檢測裝置

有效

• 申請號: 200820123290.9
• 申請日: 2008-12-31
• 公開（公告）號: CN201368769Y
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發明（設計）人: 王智勇;秦文斌;宋禹
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42;G01J1/04
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司
• 代理人: 張 慧

1、一種半導體激光器激光功率實時在線檢測裝置，其特征在于：包括放置在激光器輸出光路中的分光鏡(1)、激光輸出功率檢測部分(B)和工件反射光功率檢測部分(C)；所述的激光輸出功率檢測部分(B)包括光束勻化衰減系統(2)、第一光電轉換模塊(3)和第一信號放大濾波模塊(4)；所述的工件反射光功率檢測部分(C)包括光束勻化聚焦系統(5)、第二光電轉換模塊(6)和第二信號放大濾波模塊(7)；

激光器的輸出激光經過分光鏡(1)時發生反射的光束S1經過光束勻化衰減系統(2)后照射到第一光電轉換模塊(3)上產生小電流信號，小電流信號經過第一信號放大濾波模塊(4)進行放大濾波后得到與激光器輸出功率成線性關系的電壓信號；

工件反射光光束經過分光鏡(1)時反射的光束R1經過光束勻化聚焦系統(5)后照射到第二光電轉換模塊(6)上產生小電流信號，小電流信號經過第二信號放大濾波模塊(7)進行放大濾波后得到與工件反射光功率成線性關系的電壓信號。

2、根據權利要求1所述的一種半導體激光器激光功率實時在線檢測裝置，其特征在于：所述分光鏡(1)與激光器輸出光路的光軸成30度～60度角放置。

3、根據權利要求1所述的一種半導體激光器激光功率實時在線檢測裝置，其特征在于：所述的光束勻化衰減系統(2)包括沿光的傳播方向依次放置的第一毛玻璃片(21)和衰減片(22)，第一毛玻璃片(21)與光束S1的光軸成30度～60度角放置。

4、根據權利要求1所述的一種半導體激光器激光功率實時在線檢測裝置，其特征在于：所述的光束勻化聚焦系統(5)包括沿光的傳播方向依次放置的第二毛玻璃片(51)和凸透鏡(52)，第二毛玻璃片(51)與光束R1的光軸成30度～60度角放置。

5、根據權利要求1所述的一種半導體激光器激光功率實時在線檢測裝置，其特征在于：所述的光電轉換模塊為光電二極管。