[實(shí)用新型]寬幅連續(xù)磁控濺射鍍膜輥正反螺旋流冷卻結(jié)構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820117972.9
• 申請日: 2008-06-02
• 公開（公告）號: CN201241182Y
• 公開（公告）日: 2009-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙慨;馮煜東;王藝;王志民
• 申請（專利權(quán)）人: 中國航天科技集團(tuán)公司第五研究院第五一○研究所
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 北京理工大學(xué)專利中心
• 代理人: 張利萍

1.寬幅連續(xù)磁控濺射鍍膜輥正反螺旋流冷卻結(jié)構(gòu)，包括外不銹鋼薄層(1)、冷液進(jìn)出正反雙螺旋槽不銹鋼內(nèi)襯(2)、冷卻液導(dǎo)流管(5)，鍍膜輥兩端端面(3)和旋轉(zhuǎn)軸(4)；其特征是：外不銹鋼薄層(1)為圓柱筒體，冷液進(jìn)出正反雙螺旋流槽不銹鋼內(nèi)襯(2)為圓柱筒體，它緊貼在外不銹鋼薄層(1)下，冷卻液導(dǎo)流管(5)鑲嵌在冷液進(jìn)出正反雙螺旋槽不銹鋼內(nèi)襯(2)的雙螺旋槽內(nèi)，通過鍍膜輥兩端端面(3)將外不銹鋼薄層(1)和冷液進(jìn)出正反雙螺旋槽不銹鋼內(nèi)襯(2)支撐在鍍膜輥旋轉(zhuǎn)軸(4)上，冷液導(dǎo)流管(5)進(jìn)出口在鍍膜輥同一側(cè)端面，進(jìn)出冷液兩管在冷液進(jìn)出正反雙螺旋槽不銹鋼內(nèi)襯(2)中并排緊靠組成雙管按照表面雙螺旋方式繞制到鍍膜輥同一側(cè)。