[實用新型]銦鎵鋁氮外延片的倒裝焊結構有效
| 申請號： | 200820112868.0 | 申請日： | 2008-04-30 |
| 公開（公告）號： | CN201181713Y | 公開（公告）日： | 2009-01-14 |
| 發明（設計）人： | 熊傳兵;江風益;王立;王古平;章少華 | 申請（專利權）人： | 晶能光電(江西)有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00;B23K20/02;B23K20/14;B23K37/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 330029江西省南*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 銦鎵鋁氮 外延 倒裝 結構 | ||
1、一種銦鎵鋁氮外延片的倒裝焊結構，包括對外延片和基板施加壓力的夾合裝置、加熱裝置；所述夾合裝置包括兩個夾合構件，兩個夾合構件之間形成焊接外延片和基板的工作臺，其特征在于：所述加熱裝置為設于所述工作臺上或工作臺外圍的電磁線圈。
2、根據權利要求1所述的銦鎵鋁氮外延片的倒裝焊結構，其特征在于：所述倒裝焊結構還包括對外延片和基板進行定位的定位裝置，定位裝置設于所述工作臺上。
3、根據權利要求1所述的銦鎵鋁氮外延片的倒裝焊結構，其特征在于：所述電磁線圈為盤繞在所述夾合裝置外圍的圓柱狀線圈，或者為設于所述工作臺外圍的平面狀線圈。
4、根據權利要求3所述的銦鎵鋁氮外延片的倒裝焊結構，其特征在于：所述電磁線圈為設有冷卻液體和氣體通道的空心線圈。
5、根據權利要求1所述銦鎵鋁氮外延片的倒裝焊結構，其特征在于：所述夾合裝置及其工作臺設于真空裝置內。
6、根據權利要求5所述的銦鎵鋁氮外延片的倒裝焊結構，其特征在于：所述電磁線圈設于所述真空裝置外部。
7、根據權利要求1所述銦鎵鋁氮外延片的倒裝焊結構，其特征在于：所述夾合裝置包括一個施壓構件和一個承壓構件，所述施壓構件與一個萬向節連接。
8、根據權利要求2所述的銦鎵鋁氮外延片的倒裝焊結構，其特征在于：所述定位裝置包括一個設在所述工作臺上的定位環。
9、根據權利要求8所述的銦鎵鋁氮外延片的倒裝焊結構，其特征在于：所述定位裝置還包括置于定位環內的絕緣定位盤；所述定位盤包括一個與所述兩個夾合機構中任一個接觸的單盤，或兩個分別與所述兩個夾合機構接觸的上定位盤和下定位盤。
10、根據權利要求1所述的銦鎵鋁氮外延片的倒裝焊結構，其特征在于：所述兩個夾合構件中至少一個夾合構件中設有液體或氣體冷卻管裝置。
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