[實(shí)用新型]用于傳遞晶圓的機(jī)械手臂及該機(jī)械手臂中的插片組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820110167.3
• 申請(qǐng)日: 2008-09-09
• 公開（公告）號(hào): CN201282134Y
• 公開（公告）日: 2009-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 萬川
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;B65G47/90;B65G49/07;B25J9/02
• 代理公司: 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王 琦;王誠華

1、一種用于傳遞晶圓的機(jī)械手臂，該機(jī)械手臂具有U型的插片，所述U型插片的兩個(gè)分叉的前端分別安裝有一個(gè)用于支撐晶圓的前端定位臺(tái)，其中，

每個(gè)前端定位臺(tái)通過一個(gè)螺栓固定于所述U型插片；

其特征在于，

每個(gè)前端定位臺(tái)的下表面具有一凹槽；

所述U型插片的每個(gè)分叉前端上表面分別具有一固定栓；

每個(gè)前端定位臺(tái)的所述凹槽套接于所述固定栓。

2、如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂，其特征在于，所述固定栓卡接于所述分叉前端上表面。

3、如權(quán)利要求2所述的機(jī)械手臂，其特征在于，所述固定栓的材料為陶瓷或塑料。

4、如權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的機(jī)械手臂，其特征在于，所述凹槽與所述固定栓過盈配合。

5、一種用于傳遞晶圓的機(jī)械手臂中的插片組件，包括U型的插片本體，所述U型插片本體的兩個(gè)分叉的前端分別安裝有一個(gè)用于支撐晶圓的前端定位臺(tái)，其中，

每個(gè)前端定位臺(tái)通過一個(gè)螺栓固定于所述U型插片；

其特征在于，

每個(gè)前端定位臺(tái)的下表面具有一凹槽；

所述U型插片本體的每個(gè)分叉前端上表面分別具有一固定栓；

每個(gè)前端定位臺(tái)的所述凹槽套接于所述固定栓。

6、如權(quán)利要求5所述的插片組件，其特征在于，所述固定栓卡接于所述分叉前端上表面。

7、如權(quán)利要求6所述的插片組件，其特征在于，所述固定栓的材料為陶瓷或塑料。

8、如權(quán)利要求5至7中任意一項(xiàng)所述的插片組件，其特征在于，所述凹槽與所述固定栓過盈配合。