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[實(shí)用新型]一種用于切克勞斯基法制造硅單晶再裝料用的錐形底托有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 200820109456.1 申請(qǐng)日: 2008-07-25
公開(公告)號(hào): CN201224779Y 公開(公告)日: 2009-04-22
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 周旗鋼;吳志強(qiáng);高宇;姜艦 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 北京有色金屬研究總院;有研半導(dǎo)體材料股份有限公司
主分類號(hào): C30B15/00 分類號(hào): C30B15/00
代理公司: 北京北新智誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人: 郭佩蘭
地址: 10008*** 國省代碼: 北京;11
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 用于 克勞斯 法制 造硅單晶再 裝料 錐形
【權(quán)利要求書】:

1、一種用于切克勞斯基法制造硅單晶再裝料用的錐形底托,其特征 在于:底托為空心。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的錐形底托,其特征在于:它呈等邊三角形 形狀,其錐頂?shù)膴A角θ在10-170度之間。

3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的錐形底托,其特征在于:其錐頂?shù)膴A角θ 為45度。

4、根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的錐形底托,其特征在于:它是等邊三 角型空心時(shí),其余留的厚度T1/5D-2/3D之間,其中D為錐底的直徑。

5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的錐形底托,其特征在于其余留的厚度為1/2D。

6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的錐形底托,其特征在于:它是球型空心時(shí), 其半徑R在2—30毫米之間。

7、根據(jù)權(quán)利要求6所述的錐形底托,其特征在于它是球型空心時(shí), 其半徑R為5毫米。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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