[實用新型]一種透射電鏡試樣化學減薄夾具

無效

• 申請號: 200820108760.4
• 申請日: 2008-06-20
• 公開（公告）號: CN201225969Y
• 公開（公告）日: 2009-04-22
• 發明（設計）人: 崔華;蔡元華;熊小濤;錢大益
• 申請（專利權）人: 北京科技大學
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明屬于實驗設備技術領域，涉及到透射電鏡制樣的工具，該工具的使用，有利于制備高質量無損傷的電鏡試樣，從而獲得真實的微觀組織。

背景技術

電子顯微鏡的發明將分辨本領提高到納米量級，同時也將顯微鏡的功能由單一的形貌觀察擴展到集形貌觀察、晶體結構、成分分析等于一體。人類認識微觀世界的能力從此有了長足的發展。

要想得到好的TEM結果，首先要制備出好的薄膜樣品，TEM樣品制備在電子顯微學研究中起著非常重要的作用。透射電鏡樣品制備要求：(1)供TEM分析的樣品必須對電子束是透明的，通常樣品觀察區域的厚度以控制在約100～200nm為宜。(2)所制得的樣品還必須具有代表性以真實反映所分析材料的某些特征。因此，樣品制備時不可影響這些特征，如已產生影響則必須知道影響的方式和程度。

制備薄膜樣品分四個步驟：(a)將樣品切成薄片(厚度～500μm)；(b)預減薄，用研磨機磨(或使用砂紙)，可磨至100μm以下；(c)切割成φ3mm的圓片；(d)終減薄，多采用電解拋光減薄，這方法速度快，沒有機械損傷。

在上述薄膜樣品制備過程中，線切割和機械研磨的方法常會產生較厚的機械損傷層，影響薄膜的微觀組織，為獲得無損傷層的薄膜試樣，預減薄也可以采用化學減薄的方式。化學減薄時，由于試樣的邊角是化學減薄液優先侵蝕的部位，在減薄過程中容易出現不均勻減薄現象，甚至于試樣還未減薄至合適的厚度，試樣已經被侵蝕的所剩無幾了。為了保證試樣薄片的均勻減薄，通常對試樣邊角采取涂耐酸漆，但效果不是太理想，且操作不方便。

發明內容

為了克服現有化學減薄的不足，本實用新型提供一種邊角密封保護可靠、操作方便的透射電鏡試樣化學減薄夾具。

本實用新型是利用橡膠密封圈密封的原理，實現透射電鏡薄片試樣邊緣部位的保護，使之不被化學減薄液侵蝕，從而實現試樣薄片內部的均勻腐蝕減薄。

一種透射電鏡試樣化學減薄夾具，包括耐酸的下卡套1、上卡套2和橡膠密封圈4、5、6，以及夾具變換模式下所使用的螺釘3。具體結構特點是：上卡套有一個密封槽，下卡套上下各有一個不同尺寸的密封槽。上卡套密封槽尺寸與下卡套的下部密封槽尺寸相同。上、下卡套通過螺釘相連接。待化學減薄薄片試樣放置在同尺寸的上、下卡套密封圈之間，通過上、下卡套的連接而密封試樣邊緣，防止化學減薄液侵蝕試樣周邊。

本實用新型提供一種邊角密封保護可靠、操作方便的透射電鏡試樣化學減薄夾具，使化學減薄液僅侵蝕卡套中心暴露部位的試樣，避免了減薄液對試樣邊緣的侵蝕，這樣就實現了對試樣邊緣的保護，實現了透射電鏡樣品的均勻減薄，獲得無損傷的電鏡試樣。

附圖說明

附圖是本實用新型剖視圖。

具體實施方式

將耐酸密封圈4和5分別放入下卡套1對應的密封槽內，然后將待減薄試樣薄片7平放在密封圈5上，確保試樣放置平穩后用帶有密封圈6的上卡套壓住試樣7，最后用螺釘3連接，使上、下卡套緊緊固定在一起，以保證密封圈5和6將試樣邊緣密封，同時密封圈4將兩個卡套的連接面密封，防止化學減薄液從卡套連接面處進入，腐蝕試樣周邊。