[實用新型]空間磁場測試系統

有效

• 申請號: 200820107500.5
• 申請日: 2008-03-28
• 公開（公告）號: CN201184910Y
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發明（設計）人: 施玉安;何光俊
• 申請（專利權）人: 上海北玻鍍膜技術工業有限公司
• 主分類號: G01R33/02
• 分類號: G01R33/02;G01R33/07
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 孫皓晨;朱世定

技術領域

本實用新型涉及的是一種自動測量裝置，特別涉及的是一種應用于磁控濺射生產中的空間磁場測試系統。

背景技術

隨著國家對節能環保的重視程度日益加深，作為建筑行業所選擇的建筑材料也存在的具體的要求，為此大量的建筑物都在使用具有大面積鍍膜的玻璃，其已成為建筑行業的規范之一，而目前比較主流的大面積鍍膜工藝為磁控濺射鍍膜工藝。

所述的磁控濺射鍍膜工藝是70年代后發展起來的新型鍍膜工藝，其是通過電子在電場作用下加速飛向基片的過程中與惰性氣體氬原子發生碰撞，電離出大量的氬離子和電子，電子飛向基片。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜。同時二次電子在加速飛向基片的過程中受到磁場洛侖磁力的影響，被束縛在靠近靶面的等離子體區域內，該區域內等離子體密度很高，二次電子在磁場的作用下圍繞靶面作圓周運動，該電子的運動路徑很長，在運動過程中不斷的與氬原子發生碰撞因此電離出大量的氬離子轟擊靶材，經過多次碰撞后電子的能量逐漸降低，擺脫磁力線的束縛和延長電子的運動路徑，改變電子的運動方向，從而提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。其中，鍍膜玻璃的膜厚均勻性是鍍膜玻璃的非常重要的一個性能指標，他會直接影響到產品的外觀質量和使用效果。國家標準要求低輻射玻璃光學性能允許最大偏差為1.5％(明示標稱值)或小于3.0％(未明示標稱值)，當均勻性超過一定范圍時，肉眼即可從玻璃面感覺到色差。當前的建筑幕墻玻璃都采用大面積鍍膜玻璃，在磁控濺射中，約束金屬離子濺射區域的磁場的均勻性直接影響著所鍍膜層的均勻性，因此保證磁場的均勻性問題一直是工藝調試中十分重要而又令人頭疼的問題。

發明內容

本實用新型的目的在于，提供一種空間磁場測試系統，用以解決現有技術存在的問題，滿足磁控濺射的生產需求。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案在于，提供一種空間磁場測試系統，其包括：

一測量執行機構，其包括：一測試探頭、x方向運動組件以及y方向運動組件，通過所述的測量執行機構中測試探頭的運動實現對不同空間位置的磁場強度進行測定；

一控制柜，其與所述的測量執行機構相連接，用以控制所述的測量執行機構中x方向運動組件以及y方向運動組件輸出位移；

一計算機，其與所述的控制柜相連接，并接受所述的測試探頭的測試信號，根據預設程序獲取空間磁場測試數據；

較佳的，所述的測量執行機構還包括：

一工作臺；

一移動臂，與所述的工作臺相平行，所述的測試探頭設置于所述的移動臂的一端；

所述的x方向組件包括：一x方向滾珠絲杠以及一x方向電機，所述的x方向滾珠絲杠與所述的移動臂相連接，所述的x方向電機與所述的x方向滾珠絲杠輸入端相連接；

所述的y方向組件包括：一y方向滾珠絲杠以及一y方向電機，所述的y方向滾珠絲杠通過一結合部與所述x方向滾珠絲杠的滑板相固接，所述的y方向滾珠絲杠設置與所述的工作臺上，其輸入端與所述的y方向電機相連接；

較佳的，還包括：一信號傳送器，其分別與所述的測試探頭和所述的計算機相連接，用以進行數據的傳輸；

較佳的，還包括：一z方向滾珠絲杠設置在所述的x方向滾珠絲杠的滑板與所述的移動臂之間，在所述的z方向滾珠絲杠輸入端設置有z方向電機，所述的z方向電機與所述的控制柜相連接，用以實現移動臂z方向的移動；

較佳的，還包括：一螺紋連接結構，其具有外螺紋結構的一端與所述的移動臂相螺接，另一端與所述的測試探頭相固接，通過轉動螺紋改變螺接深度，調整所述測試探頭在z方向的高度；

較佳的，所述的電機為步進電機或伺服電機；

較佳的，所述的測試探頭為霍爾探頭。

與現有技術比較本實用新型的有益效果在于，一方面，、實現對磁鋼陣列的空間氣隙場測量，以便于對磁鋼安裝和調整，并可實現測量數據的遠傳及保存，能夠向工藝調試人員直觀的反映磁鋼陣列的空間氣隙磁場狀況，大大的方便了磁鋼的粘接和排列；

另一方面，本系統通過應用霍爾組件的霍爾效應來對被測物體表面的氣隙磁場進行測量，測量全過程由計算機控制自動完成，可根據不同需要進行浮點法和定點法進行測量。測量過程由電機對霍爾組件進行空間三維定位，霍爾組件采集的數據由信號傳送器進行初步處理后通過串口反饋計算機，由計算機完成對數據進一步處理、進行紀錄，并按要求繪制圖表。具有軟件界面簡潔明了，易于操作；測量過程方便快捷；測量結果精確、穩定可靠等特點。

附圖說明

圖1為本實用新型空間磁場測試系統的功能結構框圖；