[實(shí)用新型]一種單片清洗機(jī)無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200820107246.9 | 申請(qǐng)日: | 2008-04-08 |
| 公開(公告)號(hào): | CN201178092Y | 公開(公告)日: | 2009-01-07 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 徐竹林 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 徐竹林 |
| 主分類號(hào): | H01L21/00 | 分類號(hào): | H01L21/00;B08B3/02 |
| 代理公司: | 北京紐樂(lè)康知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人: | 田磊;唐忠慶 |
| 地址: | 10111*** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 單片 清洗 | ||
1、一種單片清洗機(jī),包括架體(1)、噴管(4)、旋轉(zhuǎn)真空密封器(6)、吸盤(8)、密封罩(16)和電機(jī)(17),所述架體(1)左側(cè)設(shè)有前板18,架體(1)右側(cè)設(shè)有后板(10),前板(18)和后板(10)頂部夾有隔板(2),隔板(2)上密封蓋有密封罩(16),隔板(2)下側(cè)設(shè)有固定在架體(1)上的清洗槽底板(3),其特征在于:清洗槽底板(3)右部通過(guò)密封壓板(12)套接倒L形噴管(4),噴管(4)底部通過(guò)連接器(11)套接在擺動(dòng)裝置(20)頂端,所述擺動(dòng)裝置(20)固定在架體(1)中部的隔板(2)右側(cè),噴管(4)下部水平設(shè)有噴管口(7),噴管(4)上部的水平結(jié)構(gòu)一端套接噴頭(5);所述清洗槽底板(3)中部通過(guò)螺釘固定軸套上固定座(13),軸套上固定座13底部套接軸套(14)頂端,軸套(14)底端固定在架體(1)中部的隔板(2)中部,軸套(14)內(nèi)部通過(guò)軸承(19)固定傳動(dòng)軸(9),傳動(dòng)軸(9)頂端套接清洗槽底板(3)上側(cè)的吸盤(8),傳動(dòng)軸(9)底端軸接旋轉(zhuǎn)真空密封器(6),所述旋轉(zhuǎn)真空密封器(6)中部的軸芯(601)底部套有彈簧(610),彈簧(610)頂端套在密封支架(609)底端,所述密封支架(609)內(nèi)套有橡膠密封圈(608),橡膠密封圈(608)上側(cè)設(shè)有石密封圈(607),橡膠密封圈(608)與石密封圈(607)均套在軸芯(601)上,石密封圈(607)上側(cè)設(shè)有外密封架(606);所述外密封架(606)套在軸芯(601)外圓中部,外密封架(606)外圓中部嵌套O型圈(605),外密封架(606)頂端設(shè)有墊片(604),所述墊片(604)上側(cè)設(shè)有兩個(gè)軸承(603),軸承(603)套在軸芯(601)外圓上部,兩個(gè)軸承(603)之間設(shè)有墊片(604),上側(cè)的軸承(603)與旋轉(zhuǎn)真空密封器(6)頂部?jī)?nèi)側(cè)之間設(shè)有卡簧(602);所述傳動(dòng)軸(9)下部同步固定的皮帶輪(15)通過(guò)角帶與電機(jī)(17)輸出軸上固定的皮帶輪(15)連接,所述電機(jī)(17)通過(guò)螺絲固定在架體(1)中部的隔板(2)左側(cè)。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





