[實(shí)用新型]具有吹嘴的汲取裝置及具有該汲取裝置的處理機(jī)臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820095752.0
• 申請(qǐng)日: 2008-07-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201247178Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林漢聲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中茂電子(深圳)有限公司
• 主分類號(hào): G01N1/36
• 分類號(hào): G01N1/36;B65G47/91
• 代理公司: 廣東國(guó)暉律師事務(wù)所
• 代理人: 歐陽(yáng)啟明

1、一種具有吹嘴的汲取裝置，所述的汲取裝置設(shè)置于一種片狀待測(cè)物處理機(jī)臺(tái)，所述處理機(jī)臺(tái)包括承載裝置和處理裝置，其中所述片狀待測(cè)物被疊置于所述承載裝置，供所述汲取裝置每次單獨(dú)汲取一片目標(biāo)待測(cè)物至所述處理裝置，所述汲取裝置包括汲取器和驅(qū)動(dòng)器；其特征在于，所述的汲取裝置還包括供所述汲取器從所述承載裝置汲取所述待測(cè)物時(shí)，向待測(cè)物吹風(fēng)、剝離附著于所述目標(biāo)待測(cè)物下方的另一片待測(cè)物的吹嘴。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的汲取裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)器為驅(qū)動(dòng)所述汲取器在一個(gè)對(duì)應(yīng)所述承載裝置的汲取位置及一個(gè)對(duì)應(yīng)所述處理裝置的釋放位置間旋轉(zhuǎn)的樞軸。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的汲取裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)器為驅(qū)動(dòng)所述汲取器在一個(gè)對(duì)應(yīng)所述承載裝置的汲取位置及一個(gè)對(duì)應(yīng)所述處理裝置的釋放位置間移動(dòng)的機(jī)械臂。

4、根據(jù)權(quán)利要求1或者2或者3所述的汲取裝置，其特征在于，所述處理機(jī)臺(tái)還包括提供所述汲取器汲取所述待測(cè)物氣壓的氣壓變換裝置，所述汲取器與所述氣壓變換裝置連接。

5、一種片狀待測(cè)物處理機(jī)臺(tái)，所述處理機(jī)臺(tái)包括承載裝置、處理裝置和汲取裝置；所述汲取裝置包括汲取器和驅(qū)動(dòng)器；其特征在于，所述的汲取器還包括供所述汲取器從所述承載裝置汲取所述待測(cè)物時(shí)，向待測(cè)物吹風(fēng)、剝離附著于所述目標(biāo)待測(cè)物下方的另一片待測(cè)物的吹嘴。

6、根據(jù)權(quán)利要求5所述的處理機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述處理裝置為輸送器，所述處理機(jī)臺(tái)還包括與所述輸送器對(duì)應(yīng)、檢測(cè)所述片狀待測(cè)物的檢測(cè)裝置以及根據(jù)所述檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果，分類所述待測(cè)物的分類裝置。

7、根據(jù)權(quán)利要求5所述的處理機(jī)臺(tái)，其特征在于，還包括連接所述吹嘴的供氣裝置。

8、根據(jù)權(quán)利要求5所述的處理機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述承載裝置設(shè)置于一個(gè)供料裝置中，所述供料裝置具有供容納復(fù)數(shù)承載裝置的容置空間以及搬移所述承載裝置的搬移器。

9、根據(jù)權(quán)利要求5或者6或者7或者8所述的處理機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述片狀待測(cè)物為太陽(yáng)能晶圓，所述吹嘴設(shè)置為與所述太陽(yáng)能晶圓疊置方向夾一角度，朝向所述太陽(yáng)能晶圓。

10、根據(jù)權(quán)利要求5或者6或者7或者8所述的處理機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述承載裝置中疊置的片狀待測(cè)物為太陽(yáng)能晶圓，所述吹嘴設(shè)置為與疊置方向平行。