[實用新型]改良的磁濺射圓柱靶

有效

• 申請號: 200820094550.4
• 申請日: 2008-06-06
• 公開（公告）號: CN201209166Y
• 公開（公告）日: 2009-03-18
• 發明（設計）人: 王佰忠
• 申請（專利權）人: 王佰忠
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司
• 代理人: 胡清方

技術領域

本實用新型涉及一種磁濺射機上所使用的改良的磁濺射圓柱靶。

背景技術

現有用于磁濺機上的磁濺射圓柱靶，一般包括靶頭和靶體，所述靶頭位于靶體之上，所述靶體包括圓筒狀的靶材和位于靶材內的長形靶芯，所述靶芯包括冷卻導水管槽和永久磁鐵，所述冷卻導水管槽的橫截面一般為正六邊形，在所述冷卻導水管槽正六邊形的六個面上均設有條狀永久磁鐵，所述永久磁鐵的端部用U形磁鐵首尾串接，形成一個整體磁閉合體，當需要濺射時，靶頭帶動靶芯旋轉，讓靶材濺射出去。這種結構的磁濺射圓柱靶由于在冷卻導水管槽的圓周均設有永久磁鐵，并且是靶頭帶動靶芯旋轉，這樣，在濺射時，靶材會被向圓周任意方向都被濺射，但是，現實濺射工件中，一般都是被濺射工件只放置在磁濺射圓柱靶某一濺射區域內，這樣，濺射機的濺射只在被濺射工件所對應的區域是有效濺射，而其它區域是無效濺射，如此，就造成靶材的大量浪費，而現在靶材都是市面上相當昂貴的稀有金屬，因此，而造成被濺射工件的成本會大大提高。

發明內容

本實用新型所解決的技術問題是克服現有技術的不足，向社會提供一種可以大大降低被濺射工件成本，可定向濺射的改良的磁濺射圓柱靶。

本實用新型的技術方案是：設計一種改良的磁控濺射圓柱靶，包括靶頭和靶體，所述靶頭位于靶體之上，所述靶體包括圓筒狀的靶材和位于靶材內的長形靶芯，所述靶芯包括冷卻導水管槽和設置冷卻導水管槽外壁上的首尾相接的永久磁鐵，所述永久磁鐵僅設置冷卻導水管槽外壁的預定區域內，所述靶頭帶動所述靶材旋轉。

所冷卻導水管槽的橫截面為正六面形，在所述正六面形相鄰的三個面上設有永久磁鐵。

所述永久磁鐵為整條狀。

所述永久磁鐵為多個小磁鐵拼接而成。

本實用新型由于采用了將所述永久磁鐵僅設置冷卻導水管槽外壁的預定區域內，所述靶頭帶動所述靶材旋轉的結構，這樣，當本磁控濺射圓柱靶工作時，將欲被濺射工件放在預定濺射區域內，就可以實現定向濺射，而在其它非濺射區域就不會產生濺射，這樣，大大地節省了靶材，從而降低了被濺射工件的成本。

下面將結合附圖和具體實施方式對本實用新型做進一步說明。

附圖說明

圖1為本實用新型剖視結構示意圖。

圖2為圖1的A-A剖面放大結構示意圖。

具體實施方式

請參見圖1和圖2，它是一種改良的磁控濺射圓柱靶，包括靶頭1和靶體2，所述靶頭1位于靶體2之上，所述靶體2包括圓筒狀的靶材21和位于靶材內的長形靶芯22，所述靶芯22包括冷卻導水管槽23和設置冷卻導水管槽23外壁上的首尾相接的永久磁鐵24，所述永久磁鐵24僅設置冷卻導水管槽23外壁的預定區域內，所述靶頭1帶動所述靶材21旋轉。所冷卻導水管槽23的橫截面為正六面形，在所述正六面形相鄰的三個面上設有永久磁鐵24。所述永久磁鐵24為多個小磁鐵拼接而成。當然，所述永久磁鐵24為整條狀。

使用時，將被濺射工件25放置永久磁鐵所對應的扇形區域內，旋轉靶材21，所述靶材21在經過永久磁鐵24所對應的濺射區域26時，才產生有效濺射。而靶材21在經過其它區域就不會產生濺射。這樣，就可以實現定向濺射，大大地提高了濺靶材21的有效利用率。避免了靶材21的無謂消耗，可以節省靶材21，從而降低了被濺射工件的成本。