[實用新型]熱膜式流量傳感器芯片無效
| 申請號： | 200820089913.5 | 申請日： | 2008-05-07 |
| 公開（公告）號： | CN201199167Y | 公開（公告）日： | 2009-02-25 |
| 發明（設計）人： | 張濱華;吳亞林;王世清;張彤;王鵬;韓偉;劉建偉 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱市東北汽車電子工程技術研究開發中心 |
| 主分類號： | G01F1/692 | 分類號： | G01F1/692 |
| 代理公司： | 哈爾濱東方專利事務所 | 代理人： | 陳曉光 |
| 地址： | 150000黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 熱膜式 流量傳感器 芯片 | ||
【權利要求書】：
1.一種熱膜式流量傳感器芯片，其組成包括：硅基底，其特征是：所述的硅基底表面具有通過各向異性腐蝕將硅材料去掉留下的氧化層薄膜，所述的氧化層薄膜連接由二氧化硅和氮化硅組成的絕緣層，所述的絕緣層連接表面具有二氧化硅涂層的加熱電阻和一組測溫熱敏電阻。
2.根據權利要求1所述的熱膜式流量傳感器芯片，其特征是：所述的測溫熱敏電阻為七個，在氣流方向上首先必須設置一個第一測溫熱敏電阻，然后是加熱電阻和第二測溫熱敏電阻。
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