[實用新型]加工研磨硅片載體的專用模具

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820085955.1
• 申請日: 2008-04-23
• 公開（公告）號: CN201183095Y
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡林寶
• 申請（專利權(quán)）人: 胡林寶
• 主分類號: B21D37/10
• 分類號: B21D37/10;B21D53/26;B24B29/00;H01L21/304
• 代理公司: 杭州裕陽專利事務(wù)所（普通合伙）
• 代理人: 應(yīng)圣義

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實用新型涉及一種加工模具，尤其是屬于一種配置在壓力機上，用于加工研磨硅片載體的專用模具。

【背景技術(shù)】

承載硅片研磨載體(也稱游星輪、載體板)，是攜帶硅片在磨盤上進行公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)的齒輪。載體結(jié)構(gòu)呈圓形，其上、下兩面為平面，外輪廓上設(shè)有齒件，中部開有多個用于放置被磨硅片的放片孔。使用時，多片研磨載體環(huán)布在研磨機的下磨盤上，載體齒件分別與下磨盤中部、外圍的內(nèi)、外齒輪的齒形壁嚙合。運動過程中，在內(nèi)、外齒形壁的正、反向驅(qū)動下，以及上、下磨盤的擠壓和磨料作用下，載體帶著放片孔內(nèi)的被磨硅片在下磨盤上作公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，從而完成研磨。

載體的材質(zhì)強度和制作方法是確保載體質(zhì)量的關(guān)鍵，如此才能使被磨硅片的平行度、翅曲度、平面度等技術(shù)指標符合要求。在本發(fā)明作出之前，供大型研磨機使用的載體一般都是選用厚度均勻、經(jīng)過熱處理的特種蘭鋼，而我國目前尚無技術(shù)生產(chǎn)這種蘭鋼，因此，載體要么通過進口成品或采用進口材料制作。進口材料不但價格昂貴，而且規(guī)格、品種不全，很難滿足國內(nèi)企業(yè)的載體制作用材，目前，國內(nèi)一般采用錫鋼片、馬口鐵之類的材料來制作載體，而用這種材質(zhì)制作的載體其強度、翅曲度、平整度都達不到使用的要求，制成的硅片精度不高、成品率低。再者，隨著硅電子產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，載體需要承載的被磨硅片直徑越來越大，即使選用進口材料，采用現(xiàn)有制作方法制作大直徑載體不但機械設(shè)備難以滿足要求，而且制成的載體其翅曲度、平整度等也都達不到使用的要求，選用國產(chǎn)材料就更加成了天方夜譚。

目前，載體的制作方法有電火花線切割法和機械制造法兩種。電火花線切割法雖然采用電子編程、利用電子控制系統(tǒng)控制進行切割，但還是存在如下缺陷：切割面粗糙度超標、齒形積累誤差大，常會影響被磨硅片的質(zhì)量和成品率。機械制造法，先通過剪板機獲得坯料，然后在坯料的中心鉆出中心孔，再用一根兩端帶有螺紋的芯棒經(jīng)中心孔將多塊坯料串疊在一起，兩端配上夾板形成整體組件，然后將整體組件依次移至車床、滾齒機或銑齒機上，進行輪廓外圓、輪廓齒件加工，完畢后再回到車床或鏜床上車、鏜放片孔。其缺點是：1、必須選用進口材料，2、將多塊坯料疊置在一起進行加工，受設(shè)備、人為因素影響累積誤差大，對操作人員技術(shù)要求高，且公差穩(wěn)定性差，不利于標準化加工。

【發(fā)明內(nèi)容】

為解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，本實用新型旨在提供一種加工研磨硅片載體的專用模具，利用該模具加工載體，具有消除累積誤差、對操作人員技術(shù)要求低、公差穩(wěn)定性好的優(yōu)點，有利于標準化加工作業(yè)；利用一臺設(shè)備就能加工制作任意直徑大小的載體。

實現(xiàn)上述目的的技術(shù)方案如下：這種加工研磨硅片載體的專用模具，其特征是：包括一個“口”字型的豎直模架，以及上模板、下模板和一底板，上模板的工作面上設(shè)有一段弧狀排列的上齒型模，下模板的工作面上設(shè)有一段弧狀排列的下齒型模；所述上模板貼置在模架頂邊的下面，模架頂邊的兩側(cè)分別設(shè)有一個導(dǎo)向孔，兩根模架側(cè)邊為導(dǎo)柱桿，模架頂邊經(jīng)導(dǎo)向孔套置在導(dǎo)柱桿上，模架底邊呈平面狀向前延伸形成底板，下模板安裝在上模板的正下方的底板上；在所述底板的一側(cè)設(shè)有定位銷，定位銷位于下齒型模齒型延伸的節(jié)圓上；在所述節(jié)圓中心的底板上設(shè)有一中心定位桿。

作為上述技術(shù)方案的進一步改進，本實用新型在具體實施時，所述底板為一塊面積可變的平板，上模板拆卸式連接在模架頂邊的下面，下模板拆卸式連接在底板上。

作為上述技術(shù)方案的進一步改進，本實用新型在具體實施時，所述底板上的中心定位桿的基部設(shè)有一個平面狀的轉(zhuǎn)盤。

有益效果：本實用新型針對現(xiàn)有普通壓力機的沖壓頭、操作平臺，設(shè)計出一種加工研磨硅片載體的專用模具，在現(xiàn)有技術(shù)中還未見有報道。該模具采用三點定位、旋轉(zhuǎn)式分段剪裁的技術(shù)方案，不但能消除累積誤差，還有效地降低了對操作人員的技術(shù)要求，有利于進行標準化加工作業(yè)。將底板設(shè)計成可調(diào)式結(jié)構(gòu)后，上模板、下模板拆卸式連接在模具上，使制作任意大小的載體都可以在一只模具上完成。

【附圖說明】

圖1為本實用新型所涉及的研磨硅片載體的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型一個實施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中序號分別表示：載體片10，放片孔11，齒件12，磨料通孔13，中心孔14，框架頂邊20，連接桿21，模柄22，上模板23，底板30，底座31，底座套32，導(dǎo)柱桿40，導(dǎo)向孔41，下模板50，下齒模51，定位塊60，定位座61，中心定位桿70，轉(zhuǎn)盤71。

【具體實施方式】