[實用新型]單晶棒切割用固定支架

無效

• 申請號: 200820085138.6
• 申請日: 2008-04-02
• 公開（公告）號: CN201189703Y
• 公開（公告）日: 2009-02-04
• 發明（設計）人: 余俊軍;方強;黃衛軍;鄭志秀;毛建軍;樓春蘭
• 申請（專利權）人: 萬向硅峰電子股份有限公司
• 主分類號: B28D1/22
• 分類號: B28D1/22
• 代理公司: 杭州裕陽專利事務所（普通合伙）
• 代理人: 應圣義

【技術領域】

本實用新型屬于一種在對單晶棒進行切割作業時，用于固定單晶棒的支架。

【背景技術】

目前，公知技術中利用帶鋸車床切割單晶棒時，單晶棒主體段先要用夾具夾緊定位，待切段(或稱分離段)則由木塊來支撐，由于單晶棒表面凹凸不平，木塊與單晶棒分離段環面之間的有效接觸點少，當接近切好時分離段的重心易發生偏移，導致受力不均，容易造成具有脆性的單晶在沒有完全切完的情況下自然斷裂(其原理與鋸木相一致)，而出現出現崩邊。目前，按些方法切割的單晶棒，特別是φ5″以上的單晶棒在切割時每段至少有5mm至10mm的崩邊，處理掉這些崩邊意味著要再切割5mm至10mm的單晶，費時費力還影響產量和質量。

【發明內容】

為克服現有技術存在的上述問題，本實用新型旨在提供一種單晶棒切割用固定支架，在該支架的配合下，利用帶鋸車床切割單晶棒時不會出現單晶棒重心偏移、受力不均而導致自然斷裂發生崩邊現象。

為實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：這種單晶棒切割用固定支架，其特征是：由固定基座，以及設置在固定基座上的弧形槽兩部分構成，在所述弧形槽的槽壁上布有多個定位螺孔，與定位螺孔相匹配的定位螺栓的端部嵌有伸縮式定位件。

具體實施時，弧形槽呈圓弧形向上開口，弧形槽兩側壁的兩個頂面中的一個頂面處在弧形槽的半圓水平截面上，另一個頂面則處在該半圓水平截面繞弧形槽中軸線轉過30度后的水平面上。

具體實施時，伸縮式定位件由壓簧和鋼球兩部分構成，鋼球由壓簧支撐并突出于定位螺栓的端面。

有益效果：與現有技術相比，帶鋸車床的刀具在對單晶棒作切割時，不但主體段有專用的夾具夾緊固定，而且分離段(長度一般為300毫米左右)也在本支架固定下，所以可有效避免崩邊現象。支架中，弧形槽用于接納柱形的單晶棒分離段，事先用定位螺栓經定位螺孔通過其端部的伸縮式定位件與單晶棒環面相接觸，在壓簧的配合下達到緊固而又不傷及單晶棒環面的目的，確保切割作業。通過手動定位螺栓固定單晶棒，無論單晶棒表面怎樣凹凸不平，都可以通過調整支撐點來固定單晶棒，在切割的過程中能始終保持單晶棒重心不偏移。

【附圖說明】

圖1本實用新型一個實施例的側面結構示意圖。

圖2為圖1中沿A-A線剖切的結構示意圖。

圖中序號分別表示：左頂面1，水平定位螺孔2，定位螺孔3，右頂面4，固定基座5，弧形槽6，固定孔7，

【具體實施方式】

參見圖1，并結合圖2。整個支架呈左右向長形，由固定基座5和弧形槽6兩部分構成。弧形槽6固定在兩個固定基座5的托槽內，固定基座5的底部設有固定孔7，使用時固定件經該固定孔7將整個固定支架固定在帶鋸車床的工作平臺上。弧形槽6的槽壁上布有多個定位螺孔3，與定位螺孔3相匹配的定位螺栓的端部嵌有伸縮式定位件(圖中未畫出定位螺栓)。

弧形槽6向上開口，其兩側壁的兩個頂面中(參見圖2)，右頂面4處在弧形槽6的半圓水平截面上，左頂面1則處在該半圓水平截面繞弧形槽中軸線轉過30度后的水平面上，即：弧形槽右頂面4與左頂面1之間的弧度為210°。采用上述方法設計的目的在于：一是便于單晶棒進出弧形槽6，二是能夠設置水平定位螺孔2，因為單晶棒在切割時，帶鋸車床的刀具與單晶棒相垂直，因此，在單晶棒的后背上經水平定位螺孔2設置一排定位螺栓，使定位螺栓的定位力能有效地與切割力直線狀相頂，分離段穩定性好。

伸縮式定位件由壓簧和鋼球兩部分構成，鋼球由壓簧支撐并突出于定位螺栓的端面。

弧形槽的直徑和長度、定位螺孔的密度等參數可根據實現情況而定。