[實用新型]基于壓電懸臂梁的液體噴射結構

無效

• 申請號: 200820080407.X
• 申請日: 2008-05-07
• 公開（公告）號: CN201220507Y
• 公開（公告）日: 2009-04-15
• 發明（設計）人: 劉淑芹
• 申請（專利權）人: 劉淑芹
• 主分類號: B41J2/14
• 分類號: B41J2/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于壓電懸臂梁驅動的液體噴射結構，其主要結構包括，壓電懸臂梁，微槽道，微噴孔；其特征在于：含有壓電薄膜層及其上、下電極的壓電懸臂梁位于液體微槽道的上部或槽道中，形成微槽道中液體噴射的驅動器；在噴孔板上設置與微槽襯底上微槽道對應的微噴孔，位于微槽道上部或槽道中的壓電懸臂梁，噴孔和微槽道相結合構成液體噴射結構。

2.根據權利要求1所述基于壓電懸臂梁驅動的液體噴射結構，其特征在于：所述壓電懸臂梁的一端或一側與襯底相連，形成懸臂梁的固定支撐端，懸臂梁其它部分為懸空可動，在每個微槽道上部或槽道中放置至少一個。

3.根據權利要求1所述基于壓電懸臂梁驅動的液體噴射結構，其特征在于：所述壓電懸臂梁為包含壓電的和非壓電的多層復合結構，其中至少包含一層壓電層及其上、下電極層。

4.根據權利要求1所述基于壓電懸臂梁驅動的液體噴射結構，其特征在于：所述壓電懸臂梁的表面為電絕緣層。

5.根據權利要求1所述基于壓電懸臂梁驅動的液體噴射結構，其特征在于：所述壓電懸臂梁驅動的液體噴射結構，包含至少一組壓電懸臂梁、微槽道、微噴孔，構成以壓電懸臂梁驅動的陣列式液體噴射結構。