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[實用新型]一種熱驅動變形透射電鏡載網有效

專利信息
申請號: 200820079780.3 申請日: 2008-04-07
公開(公告)號: CN201191595Y 公開(公告)日: 2009-02-04
發明(設計)人: 韓曉東;鄭坤;張澤 申請(專利權)人: 北京工業大學
主分類號: H01J37/20 分類號: H01J37/20;G01N1/28
代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 代理人: 張燕慧
地址: 100022*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 驅動 變形 透射 電鏡載網
【權利要求書】:

1、一種熱驅動變形透射電鏡載網,包括骨架(1)和蒸鍍在骨架(1)上的支持膜(2),其特征在于,還包括金屬薄膜A(3)和金屬薄膜B(4);其中,金屬薄膜A(3)蒸鍍在支持膜(2)之上,金屬薄膜B(4)蒸鍍在金屬薄膜A(3)之上,且金屬薄膜A(3)的熱膨脹系數要大于金屬薄膜B(4)的熱膨脹系數。

2、根據權利要求1所述的載網,其特征在于,所述的金屬薄膜A(3)的厚度為20~50nm。

3、根據權利要求1所述的載網,其特征在于,所述的金屬薄膜B(4)的厚度為20~50nm。

4、根據權利要求1所述的載網,其特征在于,所述的金屬薄膜A(3)和B(4)的比彎曲大于10/10-6·℃-1

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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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