[實(shí)用新型]光學(xué)薄膜測(cè)厚儀

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820075443.7
• 申請(qǐng)日: 2008-07-24
• 公開（公告）號(hào): CN201247048Y
• 公開（公告）日: 2009-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張姝;孫雙猛;牛旭文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津港東科技發(fā)展股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06
• 代理公司: 天津才智專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 呂志英

1、一種光學(xué)薄膜測(cè)厚儀，該儀器包括有殼體，殼體開有上蓋，其特征是：所述殼體內(nèi)裝有光源(1)、電源(2)、光纖光譜儀(3)、光纖跳線(4)、探頭(5)、樣品臺(tái)(6)、水平調(diào)節(jié)旋鈕(7)以及USB接口(8)，所述光源(1)、電源(2)、光纖光譜儀(3)分別固定在該儀器殼體內(nèi)后側(cè)的安裝板上；探頭(5)安裝在樣品臺(tái)(6)上的橫梁上，水平調(diào)節(jié)旋鈕(7)置于樣品臺(tái)(6)的下方；所述光源(1)、光纖光譜儀(3)、探頭(5)分別連接光纖跳線(4)；光纖光譜儀(3)通過(guò)USB接口線與USB接口(8)連接。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)薄膜測(cè)厚儀，其特征是：所述探頭(5)包括有光纖探頭(9)，其下方連接有準(zhǔn)直旋鈕(10)，消色差透鏡組(11)固定在準(zhǔn)直旋鈕(10)上，經(jīng)調(diào)節(jié)準(zhǔn)直旋鈕(10)控制光纖探頭(9)到消色差透鏡組(11)的距離調(diào)節(jié)光束。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)薄膜測(cè)厚儀，其特征是：所述消色差透鏡組(11)下設(shè)有連續(xù)可調(diào)光闌(12)，經(jīng)調(diào)節(jié)連續(xù)可調(diào)光闌(12)調(diào)節(jié)測(cè)量光束。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)薄膜測(cè)厚儀，其特征是：所述樣品臺(tái)(6)的下方設(shè)有三個(gè)旋鈕，其中一個(gè)為固定旋鈕，另兩個(gè)為可調(diào)旋鈕，該三個(gè)旋鈕位置呈直角三角形狀，所述固定旋鈕為直角定點(diǎn)，調(diào)節(jié)兩個(gè)可調(diào)旋鈕，調(diào)節(jié)樣品臺(tái)(6)的水平。

5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)薄膜測(cè)厚儀，其特征是：所述光源(1)為長(zhǎng)壽命溴鎢燈光源。

6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)薄膜測(cè)厚儀，其特征是：所述光纖光譜儀(3)為帶USB接口的微形光纖光譜儀，波長(zhǎng)范圍350nm-1000nm，波長(zhǎng)分辨率2nm。

7、根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)薄膜測(cè)厚儀，其特征是：所述光纖跳線(4)為七芯“Y”形寬光譜低吸收純石英光纖。

8、根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)薄膜測(cè)厚儀，其特征是：所述殼體上蓋為可開合的天窗，能夠?qū)⒐饫w跳線(4)取出，外接顯微鏡。