[實用新型]合成石英玻璃用氫氧燃燒器

有效

• 申請號: 200820068269.3
• 申請日: 2008-07-04
• 公開（公告）號: CN201245547Y
• 公開（公告）日: 2009-05-27
• 發明（設計）人: 鄧家貴;龍昌榮;黃若杰;張以泉;王巍;黃世星
• 申請（專利權）人: 湖北菲利華石英玻璃股份有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00;F23C5/08
• 代理公司: 荊州市亞德專利事務所
• 代理人: 陳德斌

技術領域：

本實用新型涉及一種氫氧燃燒器，特別涉及一種生產合成石英玻璃用氫氧燃燒器。

背景技術：

合成石英玻璃是石英玻璃所有品種中性能最佳，品質最好的一種，尤其是透紫外光譜性能是當今已知材料中無法比擬的光學材料，其氣泡及化學純度更是其它石英玻璃中的最優者。由于合成石英玻璃內在性能的優越，多年來一直受到高新技術領域的重視，得到廣泛的應用。如在半導體工業中大規模集成電路中用作光掩膜基板，LCD液晶顯示器生產中的光掩膜基板，核工業中的大功率激光透鏡，航空航天技術中用作耐輻照遙感光學透鏡及反光鏡。當年美國的阿波羅登月飛船即在月球上設置了數十塊合成石英玻璃光學材料的角棱鏡，以達到地面與月球的遙感信息傳送。另外合成石英玻璃還可大量用于激光技術、高炮測距機的光學系統等。因此，發展合成石英玻璃的生產規模，無疑是高科技的需要，也是市場的需要。

在石英玻璃合成的過程中，氫氧燃燒器是合成石英玻璃生產的關鍵部件，在燃燒器中，氫氣和氧氣燃燒產生水蒸氣，然后水蒸氣與氣態四氯化硅熱分解反應產生二氧化硅顆粒，沉積在石英玻璃靶面上，進一步熔化成高純石英玻璃。

目前使用的燃燒器基本上采用單一的料管，沒有料保護管，在工作過程中四氯化硅反應生成二氧化硅時容易堵塞料管，并且燃燒器的氫氣管和氧氣管的氣體流出時不穩定，氣體混合不均勻，導致燃燒器在使用過程中上料量無法增加，進而使得燃燒器沉積速率和得料率無法提高。

發明內容：

本實用新型的目的在于：提供一種進料管上制有緩沖包和進料緩沖腔，氫氣管及氧氣管上制有緩沖腔，進料通管上套有料保護通管，解決現有技術中進料管上料不均勻，氣態的四氯化硅冷凝成液態時直接進入燃燒器、易積料堵塞料管、氫氣管及氧氣管氣體流出時不均勻、不穩定問題的合成石英玻璃用氫氧燃燒器。

本實用新型是通過如下的技術方案來實現上述目的的：

一種合成石英玻璃用氫氧燃燒器，它由進料管、氫氣室、進料通管、氫氣管、一層氧氣管、二層氧氣管及外罩管構成，其特征在于：進料管下面制有一緩沖包，緩沖包下面制有進料緩沖腔，進料緩沖腔與進料通管聯結；進料緩沖腔的下方依次制有保護管緩沖腔、一層氧氣室、二層氧氣室、氫氣室和外罩室；所述的保護管緩沖腔下方制有料保護通管，上方制有料保護管；所述的一層氧氣室、二層氧氣室、氫氣室和外罩室的上部分別制有一層氧氣緩沖腔、二層氧氣緩沖腔、氫氣緩沖腔和外罩管緩沖腔，其上分別制有一層氧氣管、二層氧氣管和對稱的制有氫氣管和外罩管。

本實用新型與現有技術相比的有益效果是：該合成石英玻璃用氫氧燃燒器采用在氫氣管和氧氣管上設置緩沖腔，進料管上設置緩沖包和進料緩沖腔的結構，原料氣和氫、氧氣體在通過管道進入各自的通管時得到一個緩沖，使進料更均勻，燃燒更徹底。解決了進料管上料不均勻，氣態的四氯化硅冷凝成液態時直接進入燃燒器的問題。另外進料通管上設置有料保護通管，解決了燃燒器料管易積料堵塞的問題，使燃燒器的沉積速率、得料率和生產合成石英玻璃的內質得到了顯著提高。

附圖說明：

圖1為合成石英玻璃用氫氧燃燒器的結構示意圖；

圖2為A—A剖面圖。

圖中：1、進料管，2、緩沖包，3、進料緩沖腔，4、料保護管，5、保護管緩沖腔，6、一層氧氣管，7、二層氧氣管，8、一層氧氣緩沖腔，9、二層氧氣緩沖腔，10、一層氧氣室，11、二層氧氣室，12、氫氣管，13、氫氣緩沖腔，14、進料通管，15、料保護通管，16、外罩管，17、外罩管緩沖腔，18、外罩室，19、二層氧氣通管，20、一層氧氣通管，21、外罩，22、氫氣室。

具體實施方式：