[實用新型]藍寶石晶圓棒快速精確定向裝置

有效

• 申請號: 200820064559.0
• 申請日: 2008-08-01
• 公開（公告）號: CN201236222Y
• 公開（公告）日: 2009-05-13
• 發明（設計）人: 王國強;肖兵;胡建軍
• 申請（專利權）人: 成都東駿激光有限責任公司
• 主分類號: C30B33/06
• 分類號: C30B33/06
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司
• 代理人: 彭立瓊

1、一種藍寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于：包括晶圓棒C向定向裝置，所述C向定向裝置包括固定基座，所述固定基座的上部設置移動基座，固定基座和移動基座的一端對應設置通孔，在固定基座的另一端設置使移動基座水平移動的機構；螺母移動基座上還設置定位孔，定位孔內設置定位桿；移動基座上固連有支撐座，支撐座上套接旋轉輥，旋轉輥與手動或電動旋轉驅動機構相連；移動基座上還設置有支撐板，支撐板上設置晶圓棒緊固裝置。

2、如權利要求1所述的藍寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于：所述水平移動機構包括分別設置在固定基座兩側的安裝板，安裝板上部設置有螺桿和與之螺紋連接的移動螺母，螺桿的另一端與移動基座相對應。

3、如權利要求1所述的藍藍寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于：所述旋轉輥的旋轉驅動機構包括與旋轉輥固連的螺桿和與之螺紋連接的旋轉螺母。

4、如權利要求1所述的藍寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于：所述支撐板上設置的緊固裝置包括緊固螺母和與之螺紋連接的螺桿。

5、如權利要求1、2、3或4所述的藍寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于：還包括晶圓棒A向定向裝置，所述A向定向裝置包括固定基座，所述固定基座的內腔設置與旋轉驅動機構相連的旋轉工作臺，旋轉工作臺上部設置與固定基座固連的定位座，定位座的通孔與下部的旋轉工作臺相對應，通孔一側設置定位裝置，另一側設置晶圓棒緊固裝置。

6、如權利要求5所述的藍寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于：所述定位裝置為定位輥。

7、如權利要求6所述的藍寶石晶圓棒快速精確定向裝置，其特征在于：所述緊固裝置包括螺桿和與之螺紋連接的緊固螺母，所述螺桿從定位座的外側伸入定位座的通孔中。