[實用新型]一種噴淋消泡裝置

有效

• 申請號: 200820059912.6
• 申請日: 2008-06-18
• 公開（公告）號: CN201249055Y
• 公開（公告）日: 2009-06-03
• 發明（設計）人: 王經宇;李育軍
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: B01D19/02
• 分類號: B01D19/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

1、一種噴淋消泡裝置，其特征在于，所述噴淋消泡裝置設置于排放處理水時泡沫多的排放口，所述噴淋消泡裝置包括：圍井、供水管、控制閥和供水支管；所述圍井設置于所述泡沫多的排放口；所述供水管上安裝控制閥，所述供水管上連有若干供水支管，所述供水支管安裝在所述圍井的井口；所述噴淋消泡裝置通過所述供水管與外部供水源連接。

2、如權利要求1所述的噴淋消泡裝置，其特征在于，所述圍井設置于水平地面上，圍住所述泡沫多的排放口。

3、如權利要求2所述的噴淋消泡裝置，其特征在于，所述圍井為長方體槽。

4、如權利要求3所述的噴淋消泡裝置，其特征在于，所述供水支管安裝在所述長方體槽圍井井口相平行的兩個側面上，所述兩側的供水支管交錯排列。

5、如權利要求4所述的噴淋消泡裝置，其特征在于，所述供水支管有9個，所述每側的供水支管等間距排列。

6、如權利要求1所述的噴淋消泡裝置，其特征在于，所述供水支管的末端連接有噴頭。

7、如權利要求1所述的噴淋消泡裝置，其特征在于，所述供水支管的直徑小于所述供水管的直徑。

8、如權利要求1所述的噴淋消泡裝置，其特征在于，所述供水管包括圍井安裝水管部分，連接輸送水管部分和埋地敷設水管部分。

9、如權利要求8所述的噴淋消泡裝置，其特征在于，所述控制閥安裝在所述連接輸送水管部分。

10、如權利要求8所述的噴淋消泡裝置，其特征在于，所述埋地敷設水管部分設置于離地面預設深度的地底。

11、如權利要求8所述的噴淋消泡裝置，其特征在于，所述噴淋消泡裝置通過所述埋地敷設水管部分與外部供水源連接。

12、如權利要求8所述的噴淋消泡裝置，其特征在于，所述圍井安裝水管部分圍繞在所述圍井四周側壁上。

13、如權利要求1所述的噴淋消泡裝置，其特征在于，所述控制閥為控制球閥。