[實用新型]帶有一次加料器的直拉單晶爐有效
| 申請號： | 200820059264.4 | 申請日： | 2008-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN201214688Y | 公開（公告）日： | 2009-04-01 |
| 發明（設計）人： | 施美生;許雪松 | 申請（專利權）人： | 上海九晶電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海天翔知識產權代理有限公司 | 代理人： | 陳學雯 |
| 地址： | 201617*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 帶有 一次 料器 直拉單晶爐 | ||
【權利要求書】：
1、帶有一次加料器的直拉單晶爐，包括一個帶有加熱石英坩堝的直拉單晶爐本體，其特征在于，所述直拉單晶爐本體上設置有用于添加硅料的高純透明石英玻璃管加料器，所述加料器的最大直徑處尺寸為石英坩堝直徑的40％～45％，所述加料器的總高度為石英坩堝高度的2～2.5倍，加料器的壁厚度為2～5mm。
2、根據權利要求1所述的帶有一次加料器的直拉單晶爐，其特征在于，所述加料器為直圓筒型加料器。
3、根據權利要求1所述的帶有一次加料器的直拉單晶爐，其特征在于，所述加料器下端具有向外擴散的喇叭口，喇叭口的角度為7°±3°，喇叭口的高度為50mm。
4、根據權利要求1所述的帶有一次加料器的直拉單晶爐，其特征在于，所述加料器為上端小下端大的圓錐臺型，圓錐臺的傾角為4°～5°。
5、根據權利要求1所述的帶有一次加料器的直拉單晶爐，其特征在于，所述加料器下端具有向內收緊的收口，收口的角度為10°～15°，收口的高度為40～60mm。
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