[實用新型]旋轉組件有效
| 申請號： | 200820059232.4 | 申請日： | 2008-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN201220227Y | 公開（公告）日： | 2009-04-15 |
| 發明（設計）人： | 王懷鋒 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/04 | 分類號： | B08B7/04;B08B1/04;B08B13/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 旋轉 組件 | ||
【權利要求書】：
1.一種旋轉組件，用于安裝在清洗單片晶圓的清洗槽上，所述旋轉組件具有數個輥子，所述輥子一端延伸入清洗槽用于承載晶圓，其特征在于，所述旋轉組件還包括安裝在所述輥子的另一端的數個承載齒輪以及與所述承載齒輪同時嚙合的傳動齒輪。
2.如權利要求1所述的旋轉組件，其特征在于，所述承載齒輪和傳動齒輪為直齒圓柱齒輪。
3.如權利要求1所述的旋轉組件，其特征在于，所述承載齒輪的轉動中心低于傳動齒輪的轉動中心。
4.如權利要求1所述的旋轉組件，其特征在于，所述承載齒輪具有三個。
5.如權利要求4所述的旋轉組件，其特征在于，所述旋轉組件其中一個承載齒輪的轉動中心與傳動齒輪的轉動中心在豎直方向對齊，另外兩個承載齒輪的轉動中心水平方向對齊。
6.如權利要求1所述的旋轉組件，其特征在于，所述承載齒輪和傳動齒輪的轉速小于1000轉/分鐘。
7.如權利要求1所述的旋轉組件，其特征在于，所述旋轉組件還包括固定在清洗槽上的支架，所述傳動齒輪固定在所述支架上。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中芯國際集成電路制造(上海)有限公司，未經中芯國際集成電路制造(上海)有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200820059232.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：液壓多點聯動模具夾緊裝置
- 下一篇：一種新型玩具車
