[實用新型]大動態范圍的哈特曼波前傳感器

無效

• 申請號: 200820057334.2
• 申請日: 2008-04-16
• 公開（公告）號: CN201212837Y
• 公開（公告）日: 2009-03-25
• 發明（設計）人: 姜有恩;李學春
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01J9/00
• 分類號: G01J9/00;G01D5/26
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1、一種大動態范圍的哈特曼波前傳感器，包括由平面波參考源(3)、分光鏡(2)、光學匹配系統(4)、波面分割陣列(5)、光電探測器陣列(6)和具有數據處理軟件的計算機組成的哈特曼波前傳感器，其特征是還有一平移臺(7)，所述的光電探測器陣列(6)固定在該平移臺(7)上，驅動該平移臺(7)運動，帶動所述的光強探測器陣列(6)沿其光敏面的法線方向移動。

2、根據權利要求1所述的大動態范圍的哈特曼波前傳感器，其特征在于所述的波面分割陣列(5)為微透鏡陣列。

3、根據權利要求1所述的大動態范圍的哈特曼波前傳感器，其特征在于所述的光電探測器陣列(6)采用CCD探測器或CMOS探測器。

4、根據權利要求1所述的大動態范圍的哈特曼波前傳感器，其特征在于所述的平移臺(7)是高精度、高穩定性的平移臺，該平移臺為手動控制或步進電機控制。