[實(shí)用新型]陶瓷環(huán)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200820055042.5 | 申請日： | 2008-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN201146605Y | 公開（公告）日： | 2008-11-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 田華;龐明磊;劉祥杰;丁備林 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | H05B3/02 | 分類號： | H05B3/02 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 陶瓷 | ||
【權(quán)利要求書】：
1、一種陶瓷環(huán)，其特征在于：陶瓷環(huán)包括部件和套件，部件和套件均為圓柱形的環(huán)狀結(jié)構(gòu)，內(nèi)部均為圓柱形的通孔；部件在其外壁上對稱設(shè)有至少兩個凸塊，套件的圓柱形內(nèi)壁上至少設(shè)有兩個與部件的凸塊相配合的第一凹槽和第二凹槽。
2、如權(quán)利要求1所述的一種陶瓷環(huán)，其特征在于：第一凹槽和第二凹槽垂直于套件的頂端設(shè)置，并從套件的頂端開始延伸。
3、如權(quán)利要求2所述的一種陶瓷環(huán)，其特征在于：套件內(nèi)壁還設(shè)置了與第一及第二凹槽連通的第三凹槽，其與部件的凸塊相配合。
4、如權(quán)利要求3所述的一種陶瓷環(huán)，其特征在于：第三凹槽與第一凹槽和第二凹槽垂直。
5、如權(quán)利要求3所述的一種陶瓷環(huán)，其特征在于：第三凹槽呈環(huán)形。
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