[實用新型]一種可提高壓力測量精準度的防堵裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200820055032.1 | 申請日： | 2008-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN201163229Y | 公開（公告）日： | 2008-12-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 代洪剛 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | G01L19/06 | 分類號： | G01L19/06;G01L19/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 提高 壓力 測量 精準 裝置 | ||
1、一種可提高壓力測量精準度的防堵裝置，設(shè)置在氣相沉積設(shè)備的反應(yīng)腔中，該反應(yīng)腔通過一豎直連接在其底面上的測試管道連接至一壓力表，該防堵裝置用于防止該測試管道被堵塞，其特征在于，該防堵裝置具有相互連通且分別用于設(shè)置在測試管道和反應(yīng)腔中的引流導管和防堵腔室，該測試管道的直徑大于該引流導管且小于該防堵腔室，該防堵腔室的側(cè)面上具有多個通氣孔，當引流導管設(shè)置在測試管道中時，該測試管道被該防堵腔室遮蓋。
2、如權(quán)利要求1所述的可提高壓力測量精準度的防堵裝置，其特征在于，該防堵腔室為一圓柱體腔室或一長方體腔室。
3、如權(quán)利要求1所述的可提高壓力測量精準度的防堵裝置，其特征在于，該通氣孔的最低處距離防堵腔室底面的距離為5至8毫米。
4、如權(quán)利要求1所述的可提高壓力測量精準度的防堵裝置，其特征在于，該引流導管設(shè)置在該防堵腔室底部中央。
5、如權(quán)利要求1所述的可提高壓力測量精準度的防堵裝置，其特征在于，該多個通氣孔均勻排布在該防堵腔室的側(cè)面上。
6、如權(quán)利要求1所述的可提高壓力測量精準度的防堵裝置，其特征在于，該反應(yīng)腔還具有豎直連接在其底面上的抽風管道和抽風裝置。
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