[實用新型]一種新型擴散泵節能加熱器

無效

• 申請號: 200820048860.2
• 申請日: 2008-06-06
• 公開（公告）號: CN201228675Y
• 公開（公告）日: 2009-04-29
• 發明（設計）人: 麥長
• 申請（專利權）人: 麥長
• 主分類號: F04F9/00
• 分類號: F04F9/00;F04F9/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及電氣控制領域，尤其涉及可有效控制擴散泵的恒定工作點的加熱泵。

背景技術

擴散泵作為高真空獲得的主要設備，應用極為廣泛，幾乎所有的真空系統都有安裝。不僅設備價格低，而且連接方便可靠。擴散泵是通過有的加熱形成高速氣流，在一定位置將高溫高速氣流冷卻，經過多次的反復循環，獲得高真空的，隨著油量的不一樣每次循環的時間也不一樣，所以我們恒定功率加熱總是面臨加熱過大或過小，環境溫度改變加熱功率不能相應變化：

擴散泵在常溫下，蒸汽壓是很低的：約10^-4---10^-6，在該溫度下，擴散泵的放氣量很低的，不易污染真空系統。但是當有被加熱到一定溫度時，油分子能量大大增加，如果真空度比較高(0.1—1.0Pa)，則可形成高速的油蒸汽流，油蒸汽的密度或汽壓會大大增加。在雜質氣體出現時，由于油的分子截面比雜質其他分子的截面大得多，油的分子俘獲大量的雜質氣體分子，易污染真空系統。該具體過程具體如下：

當高速的蒸汽流在前級(一級噴口附近，即被抽系統接口處)，遇到雜質物質時，會與雜質發生分子碰撞。雜質氣體會被油俘獲，在冷卻的作用下，加上油分子本身是大分子，在噴口處會形成高速的向下汽流，在下一級的噴口處與下級的高速油蒸汽流相遇，與上描述同理，在該噴口處，油蒸汽同樣俘獲來自上一級的雜質氣體，以此類推，后級的雜質氣體濃度會越來越高，實現了氣體定向運動。在擴散泵的抽氣口(最后一級)，雜質氣體將被抽走，冷卻的油重新回到底部進行加熱。重復以上的過程，被抽系統的真空度就會不斷地提高。

另外，由于氣體分子的運動是永不停止的，遵循高濃度向低濃度相互擴散、交換的原理，最終這種交換達到平衡，也就是所謂的極限。當高溫高速的油分子在俘獲雜質氣體后，在冷卻作用下速度降低，運動方向發生改變改變，成為低速低濃度的蒸汽，這樣避免了油分子向被抽系統的擴散，又把雜質氣體推向下一級。

另外，目前普遍使用的是普通的電爐對擴散泵進行加熱，沒有良好的保溫措施，熱量容易擴散，熱量不能充分利用，耗能大。而且無法控制加熱體的溫度。任何自然溫度下，電爐都保持同樣的溫度，易導致擴散泵發生爆裂。

綜上，現有的擴散泵的工作點經常偏離最佳點，當溫度過低時，達不到高真空；在溫度過高時，會因擴散泵油的過度蒸發而污染真空系統。

實用新型內容

本實用新型實施例提供了一種真空擴散泵節能加熱器，能有效控制擴散泵在最佳狀態下工作，并且有利于節省電力。

本實用新型實施例提供的真空擴散泵節能加熱器，包括：

數字控制器、加熱體，所述數字控制器與所述加熱體相連接，控制所述加熱體的溫度，所述加熱體的絕緣密封層采用陶瓷纖維保溫材料制成，所述加熱體的發熱源為：遠紅外發熱管。

可選地，所述數字控制器與所述加熱體之間通過傳感器連接。

可選地，所述發熱體采用的材料為碳纖維材料。

可選地，所述發熱體的工作峰值波長為2.5μm左右。

由上看見，應用本實用新型實施例的技術方案，應用本真空擴散泵節能加熱器，數字控制器與加熱體相連接，控制加熱體的溫度，調節加熱體的溫度，使其與實際需要的溫度相一致，即使擴散泵加熱可以控制在設定的最優工作點上，從而控制加熱器的功率，使得擴散泵在最佳狀態下工作，避免擴散泵在過冷或過熱的狀態下工作，保證擴散泵隨時處于最佳的、最平衡的工作狀態，保證真空泵的工作狀態不受環境溫度、工作場所等外界條件的限制，使得真空系統具有穩定的真空性能；同時由于本真空擴散泵節能加熱器能夠自動控制加熱體的溫度，避免溫度過高，導致擴散泵爆裂現象的發生，有利于保護擴散泵，延長擴散泵的使用壽命。同時，也有利于最大限度的節省電力。

另外，本加熱體的設置有保溫密封層，并且該保溫密封層采用當今世界最先進的陶瓷纖維材料，其隔熱性能優異，有利于減少熱損耗，最大限度的節省電力，熱容量低，蓄熱少，使泵升溫迅速。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構成本申請的一部分，并不構成對本實用新型的不當限定，在附圖中：

圖1為本實用新型實施例1提供的新型真空擴散泵節能加熱器的結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例1提供的加熱體的上蓋內部結構示意圖；

圖3為本實用新型實施例1提供的加熱體的上蓋內部結構示意圖；

圖4為本實用新型實施例2提供的新型真空擴散泵節能加熱器的結構示意圖。

具體實施方式