[實用新型]一種復合光路寬光譜膜厚監控裝置

有效

• 申請號: 200820046805.X
• 申請日: 2008-04-23
• 公開（公告）號: CN201228283Y
• 公開（公告）日: 2009-04-29
• 發明（設計）人: 任豪;羅宇強;王巧彬
• 申請（專利權）人: 廣州市光機電技術研究院
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52;C23C14/54
• 代理公司: 廣州市一新專利商標事務所有限公司
• 代理人: 陳振華

1、一種復合光路寬光譜膜厚監控裝置，包括光發射裝置、光路、光接收裝置、控制電路、計算機和監控軟件，其特征是在光路系統中設置復合光路(21)，復合光路置于發射裝置(1)和接收裝置(3)之間，并通過光纖與接收裝置相連接。

2、如權力要求1所述的復合光路寬光譜膜厚監控裝置，其特征是復合光路(21)包括發射光路(211)和接收光路(216)，在發射光路和接收光路之間設置監控比較片(212)、分光鏡(213)、光源修正濾光片(214)和連接件(215)，分光鏡和濾光片固定在連接件上。

3、如權力要求1所述的復合光路寬光譜膜厚監控裝置，其特征是光發射裝置(1)包括光源(11)、調制器(12)和驅動電路(13)，調制器置于發射光路中。

4、如權力要求1所述的復合光路寬光譜膜厚監控裝置，其特征是光接收裝置(3)包括光譜儀(31)和光學膜厚控制儀(32)，光譜儀和光學膜厚控制儀均通過光纖與復合光路(21)相連接。

5、如權力要求4所述的復光路寬光譜膜厚監控裝置，其特征是所述的光譜儀(31)，通過USB接口或RS232接口與計算機相連接。

6、如權力要求5所述的復光路寬光譜膜厚監控裝置，其特征是所述的光譜儀(31)為線性硅CCD陣列探測器的光譜儀。

7、如權力要求1或2所述的復合光路寬光譜膜厚監控裝置，其特征是所述的復合光路(21)，包括采用垂直光路線或傾斜光路，在由發射光路(211)和接收光路(216)組成的光學膜厚監控光路中，通過增加中間通光孔式的分光鏡(213)，將監測光信號一分為二，其中一路監測光信號經過反射后，耦合到光纖中，再會聚進入光學膜厚控制儀(32)中，另一路監測光信號透射中間的通光孔，經過光源修正濾光片后，耦合到光纖中，再會聚進入光譜儀(31)中，由系統監控軟件進行信號采集和處理，進行寬光譜膜厚監控。

8、如權力要求7所述的復合光路寬光譜膜厚監控裝置，其特征是所述的分光鏡(213)為中間開一通光孔的反射鏡，設置在復合光路光軸上45°傾斜位置，分別反射和透射監測光信號。

9、如權力要求1所述的復合光路寬光譜膜厚監控裝置，其特征是控制電路(4)通過信號線和電纜線，分別與計算機和鍍膜設備相連。