[實用新型]一種復合式自動光學檢測設備

無效

• 申請號: 200820046603.5
• 申請日: 2008-04-18
• 公開（公告）號: CN201266177Y
• 公開（公告）日: 2009-07-01
• 發明（設計）人: 余政杰
• 申請（專利權）人: 深超光電(深圳)有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01B11/02
• 代理公司: 東莞市中正知識產權事務所
• 代理人: 侯來旺

技術領域

本實用新型是有關一種自動光學檢測設備，特別是指一種復合式自動光學檢測設備。

背景技術

AOI(automatics?optical?inspection，自動光學檢測設備)之主要操作原理是主要藉由計算機程序驅動下，透過攝像鏡頭對檢測物進行自動掃瞄，采集圖像，并將圖像與數據庫中的合格參數進行比較分析，經過圖樣處理后，檢測出檢測物上的缺陷，并透過顯示器或自動標志把缺陷顯示/標示出來，以供維修人員進行修整，因此AOI除了能檢測出目檢無法查出的缺陷外，還能把生產過程中所出現的缺陷類型加以收集，產生統計資料，以供制程控制人員分析和管理。

綜上所述，AOI相較于傳統檢測方式，具有精密度高，沒有人工目測受到組件微小化的限制，再者檢測速度快，能夠有效節省人工成本，與具有數據儲存功能，可供后續分析管理。因此AOI設備已普遍應用于各種產業的檢測作業上，尤其是在半導體(IC)、平面顯示器(FDP)、印刷電路板(PCB)、印刷電路板組裝(PCBA)等領域中。

而就薄膜晶體管液晶顯示器而言，AOI設備的檢測幾乎應用于所有制程步驟中，舉例來說在TFT圖形數組版、彩色濾光片、LCD面板組裝、LCD模塊組裝等制程中需要AOI設備進行檢測，而已完成的TFT圖形數組版與彩色濾光片在運送至LCD面板組裝站點前、偏光板運送至LCD面板組裝站點前、LCD面板組裝后進行LCD模塊組裝前，以及LCD模塊組裝后也皆需要利用AOI進行檢測。

在LCD面板組裝之站點后，所需進行的AOI檢測，包含有如第1A圖所示之利用掃瞄式攝像鏡頭10對LCD面板12進行污染粒子檢測(particle?inspection)與如第1B圖所示之利用量測用的量測攝像鏡頭14對LCD面板12進行對組精度量測。但是上述AOI設備皆為獨立機臺設備，因此造成無塵室的使用與配置受到限制，再者，為配置這三套AOI設備與設備所需的載入(LD)/卸載(ULD)區域，將占據無塵室相當大的空間，而相對的運送基板之磁性導引無人搬運車(AGV)或有軌式搬運車(RGV)的動線也受到限制。

再者，在LCD面板組裝之站點后，習知是利用人工以放大鏡16對于LCD面板12對組精度進行膠寬量測(MAchecker)，如圖1C所示，但這樣的方式，往往受到操作人員身高限制及衍生安全性的問題。

有鑒于此，本實用新型遂針對上述習知技術之缺失，提出一種復合式自動光學檢測設備，以有效克服上述之該等問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于解決上述缺陷，而提供一種復合式自動光學檢測設備，其同時具有LCD面板污染粒子檢測、框膠線寬量測檢測與對組精度檢測的功用。

本實用新型之另一目的在提供一種復合式自動光學檢測設備，其僅需配置一個加載(LD)/卸載(ULD)區域，即可具有LCD面板框膠線寬量測檢測、污染粒子檢測與對組精度檢測的功能，能夠大幅度縮小自動光學檢測設備在無塵室的空間占用率，進而使得無塵室的空間應用能更靈活。

本實用新型之再一目的在提供一種復合式自動光學檢測設備，其能使運送基板之磁性導引無人搬運車(AGV)或有軌式搬運車(RGV)動線的配置限制更具彈性。

本實用新型之又一目的在提供一種復合式自動光學檢測設備，其能避免進行LCD面板對組精度檢測時，操作人員身高限制及衍生安全性的問題。

為實現上述目的：

一種復合式自動光學檢測設備，其包含有：

加載區域，其是用以裝載一待測物；

卸載區域，其是用卸載該待測物；

掃瞄式攝像鏡頭與一量測攝像鏡頭，其是裝設于該加載區域與該卸載區域之間，該掃瞄式攝像鏡頭是對該待測物進行污染粒子檢測，而該量測攝像鏡頭是對該待測物進行框膠線寬量測與/或對組精度量測；

瑕疵檢查主機，其是用以呈現出該掃瞄式攝像鏡頭所擷取出的影像并記錄；

校準檢查主機，其是將該量測攝像鏡頭所擷取之影像與該校準檢查主機內的數據參數進行比較分析并記錄或呈現。

其中該污染粒子檢測結果是可用以確認機臺保養管理后的機臺清潔度。

其是應用在薄膜晶體管液晶顯示器的檢測。

其中該掃瞄式攝像鏡頭是使用一掃瞄式電荷耦合組件。

其中該量測攝像鏡頭是使用一掃瞄式電荷耦合組件。

其中該瑕疵檢查主機包含有一顯示裝置。

其中該校準檢查主機包含有一顯示裝置。

其中該待測物承載至該加載區域是利用一磁性導引無人搬運車或有軌式搬運車進行搬運。

其中該待測物是液晶顯示器面板。