[實用新型]用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器有效

申請號：	200820041390.7	申請日：	2008-08-15
公開（公告）號：	CN201285378Y	公開（公告）日：	2009-08-05
發明（設計）人：	應剛;余正東;高華	申請（專利權）人：	江蘇天瑞儀器股份有限公司
主分類號：	G01N23/223	分類號：	G01N23/223;G01N23/207
代理公司：	蘇州創元專利商標事務所有限公司	代理人：	孫仿衛
地址：	215347江蘇省昆山市***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	用于定型熒光光譜儀固定元素分光
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【說明書】：

技術領域

本實用新型涉及一種利用X射線進行材料分析的測量設備技術領域，尤其是其中用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器。

背景技術

多元素同時測定型X熒光光譜儀(以下簡稱同定型WDXRFS)的真空測量室周邊安裝了若干個固定元素道分光器。現有的固定元素道分光器按照分光晶體的種類劃分可以分為平晶型和彎晶型，被X光管射線照射后樣品中的不同元素發出各自的特征X射線，其波長λ互不相同，這些X射線以θ角投射到分光晶體的表面上，其中只有波長λ符合Bragg公式：nλ＝2dSinθ的元素特征X射線才能以同一θ角被分光晶體反射和聚焦，并被探測儀器檢測。根據所檢測到的該元素特征X射線的強度即可計算樣品中該元素的含量，其它元素的特征X射線因其波長不符合Bragg公式而被吸收。

公知的固定元素道晶體分光器中只能安裝一塊分光晶體，并且只有一條單通道光路，只能測定某一種固定的元素，因此同定型WDXRFS可以同時測量的元素種類與所安裝的分光器數量相同。由于安裝空間的限制，在直徑一定的真空測量室周邊可以安裝的分光器數量有限，因此儀器可以同時測定的元素種類受到限制。現有的功率≤200W的小型多道WDXRFS儀器中最多可安裝12個公知的分光器，即最多可同時測定12種元素。為了增加可測定元素的種類，不得不加大真空測量室的直徑，導致樣品至晶體的光程長度增加，由于檢測到的X射線強度與光程長度成反比，因此為了保證元素的分析精度，必須加大儀器的功率，即便如此，在功率≥2000W的大型多道WDXRFS儀器中，最多也只能安裝約30個公知的分光器，而且此時儀器中已顯得十分擁擠，安裝、調試和維修均已相當困難。

申請號為CN200610113280.2、公開號為CN101149351的中國發明專利“一種用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器”，公布了一種同時具有兩條彎晶衍射光路的分光器；申請號為CN200610113279.X的中國發明專利“用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器”，公布了一種同時具有一條彎晶衍射光路及一條平晶衍射光路的分光器。采用以上二種結構的分光器可同時測定的元素種類成被增加，從而擴大儀器的應用范圍；同時能夠減少分光器的數量和減小真空測量室的直徑，從而使儀器結構大為簡化，降低制造成本。

然而，采用彎晶分光，彎晶的成本較高，使得整個分光器的造價昂貴，并且目前市場上還沒有一種具有兩條直晶衍射光路的分光器。

發明內容

本實用新型目的就是為了克服現有技術的不足而提供一種具有兩條直晶衍射光路的分光器。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器，它包括入射管組件、與入射管組件的尾部連接的分光盒組件、與分光盒組件連接的出射管組件，所述的分光盒組件包括盒體以及安裝在所述的盒體內部的平晶組件，所述的平晶組件包括平晶、晶體托板及角度調節機構；

所述的入射管組件的通道內安裝有一次準直器；

所述的出射管組件的通道內安裝有二次準直器；

所述的盒體內并排設置有兩組所述的平晶組件，所述的出射管組件為與所述的平晶組件相對應的兩組；

兩組所述的平晶組件及出射管組件構成兩條獨立的衍射光路，每條所述的衍射光路中，入射角和出射角相等。

所述的一次準直器和二次準直器均為平板準直器，二者的濾光片的材料為鉬。

兩組所述的出射管組件的端部還分別設置有X射線探測器，所述的X射線探測器為以下的一種：流氣式正比計數器、封閉式正比計數器或者閃爍計數器。

所述的入射管組件的管體的中心軸線通過所述的盒體的中心軸線。

采用本實用新型結構的分光器，第一、在體積增加不多的情況下，使得分光器相比現有的分光器具有兩倍的分光能力；第二、采用直晶分光，成本較低，降低整個分光器的成本；第三、每兩組平晶晶體，僅采用一組入射管組件，充分利用分光器空間，結構緊湊、成本降低。