[實用新型]晶棒專用測量平板

無效

• 申請號: 200820041143.7
• 申請日: 2008-07-30
• 公開（公告）號: CN201237501Y
• 公開（公告）日: 2009-05-13
• 發明（設計）人: 任先林;宋秦川
• 申請（專利權）人: 常州松晶電子有限公司
• 主分類號: G01B21/22
• 分類號: G01B21/22
• 代理公司: 常州市維益專利事務所
• 代理人: 何學成

技術領域

本實用新型涉及一種測量裝置，特別涉及一種晶棒專用測量平板。

背景技術

“T”型石英晶棒的準確測量，是該石英晶棒切割成石英晶片前對晶棒粘膠時基準面和調整面的測角，測量的標準程度，直接影響石英晶片的角度。

測量石英晶棒大多通過平板進行定位。目前X射線定向儀上使用的平板，是寬度為30mm的平板，這種平板是為測量寬度為25mm左右的晶片設計，在測量石英晶片時完全夠用。但在測量石英晶棒時，由于石英晶棒長度為210mm左右，平板相對于石英晶棒的長度過于太短，容易造成石英晶棒磨損變形，石英晶棒放置不穩，測量的晶棒YY′方向角度不對稱，比如一頭為+3′，另外一頭為-2′，在粘膠調整時不知調整哪個角度等缺點。另外，平板的寬度同對角器上面的基準平板長度相差太大，造成測量區域與粘膠時的作為基準的區域不一致也會形成誤差，從而導致影響石英晶片的切割精度。

發明內容

針對上述技術問題，本實用新型的目的是提供一種晶棒專用測量夾板，它可以增大與被測量晶棒的接觸面積，減小晶棒的磨損率，以及還能使晶棒緊貼于平板上的優點。

本實用新型的目的是這樣實現的：平板的下部設有安裝孔，所述平板上部的左側面設有向左方延伸的左支撐板，平板上部的右側面設有向右方延伸的右支撐板，平板的中間區域設有多個吸氣孔。

所述平板的長度和左、右支撐板的長度之和等于對角器基準平板長度。

所述多個吸氣孔布置成多列，其中位于左列和右列吸氣孔的數目相等，位于左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數目相等，位于左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數目多于左列或右列吸氣孔的數目。

采用了上述方案，平板上部的左側面設有向左方延伸的左支撐板，平板上部的右側面設有向右方延伸的右支撐板，左、右支撐板的長度之和為晶棒長度的三分之二，通過支、右撐板的支撐作用，可以增大晶棒與平板的接觸面積，容易與平板緊貼，減少因磨損出現的誤差。平板的中間區域設有多個吸氣孔，晶棒檢測時，在平板的吸氣孔區域連接抽氣泵，通過抽氣泵經吸氣孔產生負壓，進一步增強晶棒與平板的緊貼性。而且通過負壓還可便于將晶棒放置到平板上，利于提高工作效率。

所述平板的長度和左、右支撐板的長度之和等于對角器基準平板長度。使測量區域同調整區域一致，造成測量區域與粘膠時的作為基準的區域不一致也會形成誤差，從而導致影響晶片的切割精度。

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步說明。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種優選實施例的結構示意圖；

附圖中，1為平板，2為安裝孔，3為左支撐板，4為右支撐板，5為吸氣孔。

具體實施方式

參照圖1，本實用新型的晶棒專用測量平板，平板1的下部設有安裝孔2。平板1上部的左側面設有向左方延伸的左支撐板3，平板上部的右側面設有向右方延伸的右支撐板4，形成“T”型的平板，左、右支撐板與平板1一體成型。平板1和左、右支撐板的長度之和等于對角器基準平板長度，使得測量區域與平板粘膠時的作為基準的區域一致，以減少測量誤差。左、右支撐板3、4的長度之和為150mm，為晶棒長度的三分之二左右，可增大晶棒與支撐板的接觸面積。平板1的中間區域設有多個吸氣孔5，這些吸氣孔布置成多列，其中位于左列和右列吸氣孔的數目相等，位于左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數目相等，位于左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數目多于左列或右列吸氣孔的數目。在平板的吸氣孔區域連接抽氣泵，通過抽氣泵經吸氣孔產生負壓。晶棒檢測時，可進一步增強晶棒與平板的緊貼性。

本實用新型結構雖然較為簡單，但實用性強。

上述實施例是用于說明本實用新型，而不是對本實用新型的限制，在實用新型的構思前提下對實用新型的改進，都屬于本實用新型權利要求保護的范圍。