[實用新型]測試臺晶圓吸盤裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820035163.3
• 申請日: 2008-04-14
• 公開（公告）號: CN201196654Y
• 公開（公告）日: 2009-02-18
• 發(fā)明（設計）人: 董曉清;孫盤泉;戴京東;陳仲宇
• 申請（專利權）人: 無錫市易控系統(tǒng)工程有限公司
• 主分類號: G01R1/02
• 分類號: G01R1/02;G01R31/26;H01L21/66
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所
• 代理人: 曹祖良

1.一種測試臺晶圓吸盤裝置，包括設置在負壓吸盤(1)與隔熱盤(2)之間的加熱器(3)，其特征是：在負壓吸盤(1)的上表面設有若干負壓氣槽(4)，在負壓吸盤(1)內設有與負壓氣槽(4)連通的負壓氣孔(5)，在負壓吸盤(1)上設有負壓氣管接頭(6)，所述的負壓氣管接頭(6)與負壓氣孔(5)連通，在負壓吸盤(1)上設有貫穿負壓吸盤(1)、加熱器(3)與隔熱盤(2)的卸料孔(7)。

2.如權利要求1所述的測試臺晶圓吸盤裝置，其特征是：所述負壓氣槽(4)為負壓吸盤(1)上表面開設的同心圓槽體。

3.如權利要求1所述的測試臺晶圓吸盤裝置，其特征是：卸料孔(7)為三個或者三個以上，它們均勻地布置在相鄰兩負壓氣槽(4)之間。

4.如權利要求1所述的測試臺晶圓吸盤裝置，其特征是：在負壓吸盤(1)與加熱器(3)之間設有熱緩沖盤(8)。

5.如權利要求4所述的測試臺晶圓吸盤裝置，其特征是：所述熱緩沖盤(8)由熱固性塑料DMC制成。

6.如權利要求1所述的測試臺晶圓吸盤裝置，其特征是：在加熱器(3)與隔熱盤(2)之間設有蓋板(9)。

7.如權利要求1所述的測試臺晶圓吸盤裝置，其特征是：在負壓吸盤(1)的下表面設有向隔熱盤(2)伸出的下凸環(huán)(10)，相應地在隔熱盤(2)的上表面設有向負壓吸盤(1)伸出的上凸環(huán)(11)，下凸環(huán)(10)的下端面與上凸環(huán)(11)的上端面接觸并將加熱器(3)、熱緩沖盤(8)與蓋板(9)包容其內。

8.如權利要求1所述的測試臺晶圓吸盤裝置，其特征是：在負壓吸盤(1)的側壁設有溫度傳感器(12)。