[實用新型]具有五層保溫條的多晶硅鑄錠爐的熱場結構

有效

• 申請號: 200820031101.5
• 申請日: 2008-01-28
• 公開（公告）號: CN201183848Y
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發明（設計）人: 楊曉忠;汪釘崇
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B28/06
• 代理公司: 常州市維益專利事務所
• 代理人: 王凌霄

技術領域

本實用新型涉及一種多晶硅鑄錠爐內的設備，特別是一種具有五層保溫條的多晶硅鑄錠爐的熱場結構。

背景技術

多晶硅在生長的過程中，由于熱場的不穩定，會在晶體內部產生微晶，在DSS450多晶鑄造爐熱場沒改變的情況下，每個出來的晶錠里微晶含量達到49.9％，這樣最終產品的良品率就會大大降低。晶體的生長方向是向上的，保溫條的作用是使晶塊四周的溫度不會冷卻的太快，使晶體垂直生長，防止晶體沒有長完就結晶，從而產生微晶。原有DSS450多晶鑄造爐的保溫條是三根，這樣晶體在生長到一半的時候就結晶，結晶的固液界面呈水平狀，而這種方式是最不理想的。

實用新型內容

為了克服現有的多晶硅鑄錠爐生產出來的晶錠微晶比例過高，影響產品質量的不足，本實用新型提供一種結晶質量優異的具有五層保溫條的多晶硅鑄錠爐的熱場結構。

本實用新型所采用的技術方案是：一種具有五層保溫條的多晶硅鑄錠爐的熱場結構，包括保溫隔熱籠體、保溫隔熱籠體內安裝在側面和頂面的加熱器、放置坩堝的石墨冷卻塊以及設置在保溫隔熱籠體內腔四周的保溫帶，在保溫隔熱籠體的內腔四周的保溫帶的高h為385-395mm，寬b為405-415mm。保溫帶由五層上下依次層疊的保溫條組成。

原有的保溫隔熱籠體內有三層上下層疊保溫條，現在增加兩層。增加兩個保溫層后，它的晶體的成長的固液界面呈現為凸型，使得生產出來的晶錠中的微晶量下降。

本實用新型的有益效果是：通過試驗，和原來保溫隔熱籠體內設置上下層疊的三層保溫條相比，它的晶體的成長的固液界面呈現為凸型，周圍的晶體的成長速度慢于中間的結晶，在有效區域中的微晶含量降低，使得生產出來的晶錠中的微晶量下降。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中：1.保溫隔熱籠體，2.加熱器，3.石墨冷卻塊，4.保溫條。

具體實施方式

如圖1所示的一種具有五層保溫條的多晶硅鑄錠爐的熱場結構，包括保溫隔熱籠體1、保溫隔熱籠體1內安裝在側面和頂面的加熱器2和放置坩堝的石墨冷卻塊3，在保溫隔熱籠體1的內腔四周設置五層上下依次層疊的保溫條4，五層保溫條4組成高h為385-395mm，寬b為405-415mm的保溫帶。在DSS450多晶硅鑄錠爐中，保溫隔熱籠體1內的保溫條4原來有三層，現在在上面增加兩層。將硅原料加入到坩堝中，坩堝擱放在石墨冷卻塊3上，坩堝底部和四周襯有護板，頂部具有蓋板，在溶化硅材料時，保溫隔熱籠體1和石墨冷卻塊3合攏形成加熱坩堝中硅原料的熱場腔室。

溶化后的硅液冷卻結晶時，保溫隔熱籠體1內的保溫條4使得硅液四周的晶體生長慢于中間的結晶，晶體呈凸形生長，在有效區域中微晶的含量降低，使得出來的晶錠中的微晶的含量為從現在的49.9％下降到41.6％。