[實用新型]一種能輸出單一離子能量的離子束發射源

無效

• 申請號: 200820029301.7
• 申請日: 2008-06-03
• 公開（公告）號: CN201217686Y
• 公開（公告）日: 2009-04-08
• 發明（設計）人: 徐均琪;杭凌俠;彌謙;蘇俊宏;朱昌;嚴一心
• 申請（專利權）人: 西安工業大學
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H01L21/3065;C23F4/00;H01J37/08
• 代理公司: 西安新思維專利商標事務所有限公司
• 代理人: 黃秦芳

1、一種能輸出單一離子能量的離子束發射源，包括氣體放電室，該氣體放電室中包括陽極、陰極和引出柵極板，其特征在于：在引出柵極板一側依次設置有聚焦磁場產生單元(1)、離子能量選擇器和擴束磁場產生單元(9)；所述離子能量選擇器包括相對設置的上磁極板(5)、下磁極板(10)以及相對設置的第一電極板(12)和第二電極板(15)構成的選擇筒，上磁極板(5)、第一電極板(12)、下磁極板(10)和第二電極板(15)之間夾設有極板絕緣件(14)，所述上磁極板(5)和下磁極板(10)之間通過極靴(13)連接有位于選擇筒外側的主勵磁線圈(11)，第一電極板(12)和第二電極板(15)上分別導通連接有第一電極(18)和第二電極(17)；選擇筒的兩端分別設置有以入口絕緣件(4)和出口絕緣件(6)相隔的入口蓋板(3)和出口蓋板(7)，入口蓋板(3)和出口蓋板(7)中部設置有能帶限制通孔。

2、如權利要求1所述的一種能輸出單一離子能量的離子束發射源，其特征在于：所述入口蓋板(3)與聚焦磁場產生單元(1)之間夾設有入口磁屏蔽板(2)，出口蓋板(7)與擴束磁場產生單元(9)之間夾設有出口磁屏蔽板(8)；入口磁屏蔽板(2)和出口磁屏蔽板(8)上設置有大于或等于能帶限制通孔的屏蔽板通孔。

3、如權利要求1或2所述的一種能輸出單一離子能量的離子束發射源，其特征在于：所述選擇筒的截面為矩形。

4、如權利要求3所述的一種能輸出單一離子能量的離子束發射源，其特征在于：所述聚焦磁場產生單元(1)和擴束磁場產生單元(9)是永磁體和/或電磁線圈。

5、如權利要求1或2所述的一種能輸出單一離子能量的離子束發射源，其特征在于：所述出口蓋板(7)上設置有散熱結構。