[實(shí)用新型]一種等離子體加工裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200820029299.3 | 申請日： | 2008-06-06 |
| 公開（公告）號： | CN201250185Y | 公開（公告）日： | 2009-06-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉衛(wèi)國;梁海鋒;杭凌俠 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號： | C03C23/00 | 分類號： | C03C23/00 |
| 代理公司： | 西安新思維專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 黃秦芳 |
| 地址： | 710032*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 等離子體 加工 裝置 | ||
1、一種等離子體加工裝置，包括工作室和其內(nèi)部的電容耦合等離子體發(fā)生器(10)，所述的電容耦合等離子體發(fā)生器(10)包括進(jìn)氣口(1)、射頻接頭(2)和內(nèi)套(3)，其特征在于：所述的工作室為真空室(9)，所述電容耦合等離子體發(fā)生器的內(nèi)套(3)外側(cè)還依次設(shè)置有絕緣層(4)和屏蔽層(5)，內(nèi)套(3)、絕緣層(4)和屏蔽層(5)以過盈配合方式連接，在屏蔽層(5)的外側(cè)環(huán)設(shè)有環(huán)形磁鐵(8)，該環(huán)形磁鐵(8)通過直線移動機(jī)構(gòu)(7)聯(lián)接于屏蔽層(5)上。
2、如權(quán)利要求1所述的一種等離子體加工裝置，其特征在于：所述內(nèi)套(3)的開口端聯(lián)接有內(nèi)小、外大錐形的均勻器(6)。
3、如權(quán)利要求1或2所述的一種等離子體加工裝置，其特征在于：所述直線移動機(jī)構(gòu)(7)由屏蔽層(5)外側(cè)設(shè)置的條狀滑槽和嵌設(shè)于滑槽內(nèi)的支架組成，支架與環(huán)形磁鐵(8)固定聯(lián)接。
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