[實用新型]基于MEMS插入式流量傳感器的液壓系統功率測量裝置

無效

• 申請號: 200820015112.4
• 申請日: 2008-08-12
• 公開（公告）號: CN201241898Y
• 公開（公告）日: 2009-05-20
• 發明（設計）人: 張洪朋;曹淑華;張世鋒;顧長智;梅濤;陳海泉;孫玉清
• 申請（專利權）人: 大連海事大學
• 主分類號: F15B19/00
• 分類號: F15B19/00;G01F1/34
• 代理公司: 大連八方知識產權代理有限公司
• 代理人: 衛茂才

1、基于MEMS插入式流量傳感器的液壓系統功率測量裝置，其特征在于，該裝置由測量管(1)、探頭(2)、固定裝置(3)、高壓取壓口(8)、低壓取壓口(9)，壓力傳感器(10)、信號采集處理設備(11)及流量傳感器部分的MEMS敏感芯體(6)、封裝結構(5)、信號線(7)、流量計二次儀表(4)構成；探頭(2)通過固定裝置(3)固定在測量管(1)內部；MEMS敏感芯體(6)被封裝在封裝結構(5)內部進行測量；封裝結構(5)固定在探頭(2)內部，開口處分別與高壓取壓口(8)和低壓取壓口(9)相通；高壓取壓口(8)與低壓取壓口(9)均設計在探頭(2)上，位于測量管(1)內部；MEMS敏感芯體(6)的兩個取壓管分別經高壓取壓口(8)和低壓取壓口(9)接觸高壓和低壓流體；信號線(7)與MEMS敏感芯體(6)連接后引出測量管(1)至流量計二次儀表(4)；流量計二次儀表(4)和壓力傳感器(10)與信號采集處理設備(11)連接。

2、根據權利要求1所述的基于MEMS插入式流量傳感器的液壓系統功率測量裝置，其特征在于，所述的MEMS敏感芯體(6)為硅微壓阻式、壓電式或電容式的微型壓力/壓差敏感芯體。