[實用新型]一種真空退火爐

無效

• 申請號: 200820013708.0
• 申請日: 2008-06-27
• 公開（公告）號: CN201212046Y
• 公開（公告）日: 2009-03-25
• 發明（設計）人: 許小紅;江鳳仙;扈俊清;李小麗;田龍;王芳;黃曉霞
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: C21D1/26
• 分類號: C21D1/26
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司
• 代理人: 許宗富;周秀梅

1.一種真空退火爐，包括工作臺、電爐及石英管，其特征在于：在工作臺(3)上安裝有電爐(1)及進樣室(4)，石英管(2)的一端伸入電爐(1)內，另一端通過密封裝置與進樣室(4)密封連通；進樣室(4)上連接有真空獲得及測量系統。

2.按權利要求1所述的真空退火爐，其特征在于：所述密封裝置包括壓蓋(9)及水冷腔組件(10)，水冷腔組件(10)套設于石英管(2)上，水冷腔組件(10)的一端與進樣室(4)密封連接，另一端密封連接有壓蓋(9)。

3.按權利要求2所述的真空退火爐，其特征在于：所述水冷腔組件(10)為由內外壁圍成的中空圓柱，內外壁之間留有空隙。

4.按權利要求2所述的真空退火爐，其特征在于：在水冷腔組件(10)與石英管(2)之間還設有隔套(12)，隔套(12)套設于石英管(2)上，兩側通過第二O型密封圈(13)分別與壓蓋(9)及水冷腔組件(10)密封抵接。

5.按權利要求1所述的真空退火爐，其特征在于：所述電爐(1)上安裝有移動裝置，電爐(1)通過移動裝置可在工作臺(3)上往復移動。

6.按權利要求5所述的真空退火爐，其特征在于：所述移動裝置包括導軌(14)、車輪(15)、軸(16)及輪架(17)，電爐(1)的下方通過支架(19)連接有底板(18)，在底板(18)的下方安裝有輪架(17)，車輪(15)通過軸(16)安裝在輪架(17)上；工作臺(3)上鋪設有導軌(14)，電爐(1)通過車輪(15)與導軌(14)配合連接可在工作臺(3)上往復移動。

7.按權利要求1所述的真空退火爐，其特征在于：該退火爐還配備有噴水裝置(20)，包括內、外壁及進水管(22)，內、外壁圍成中空圓柱，進水管(22)固接在外壁上并與內外壁之間的空隙相連通；在內壁的圓周面上均布有多個噴水孔(21)。

8.按權利要求1所述的真空退火爐，其特征在于：所述真空獲得及測量系統位于工作臺(3)的控制柜上，包括機械泵(6)、電磁隔斷閥(7)及渦輪分子泵(8)，機械泵(6)通過電磁隔斷閥(7)與渦輪分子泵(8)相連接，渦輪分子泵(8)的另一端連接于進樣室(4)；在進樣室(4)上還設有復合真空計(5)。