[實用新型]具有外通管路的真空腔體

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820000085.3
• 申請日: 2008-01-04
• 公開（公告）號: CN201150856Y
• 公開（公告）日: 2008-11-19
• 發(fā)明（設計）人: 黃泳釗;許三益;鄭博仁
• 申請（專利權）人: 北儒精密股份有限公司
• 主分類號: B01J3/00
• 分類號: B01J3/00
• 代理公司: 北京邦信陽專利商標代理有限公司
• 代理人: 王昭林;崔華

技術領域

本實用新型是一種真空腔體，特別是涉及一種將門板以可樞轉的方式安裝在門框上的具有外通管路的真空腔體。

背景技術

在半導體相關制程中，許多制程都需要使用到真空設備，而且隨著制程的不同，必須在真空設備中安裝門框以及可相對于門框開啟的門板，此外，有的制程還需要在門板附近安裝管路及適當?shù)慕宇^，通過輸送所需的氣體，而以下針對安裝在門板上的管路設計來說明。

如圖1所示，一種以往真空腔體1包含：一中空腔壁11、一直立安裝在腔壁11內且界定出一門口121的門框12、及一可朝一側旋轉開啟地蓋合在該門框12上以關閉門口121的門板13。該腔壁11具有一內外貫穿且位在門框12附近的外通孔111。安裝時，在該腔壁11上安裝一供氣裝置14，并在供氣裝置14上連接一連接管15，令該連接管15穿過外通孔111伸入腔壁11內，再轉向穿伸出門板13，并朝向一塊安裝在門板13上的靶材16，當驅動該供氣裝置14時，氣體就可以經由連接管15輸送至門板13的靶材16上。

雖然以往真空腔體1是透過連接管15將氣體由腔壁11外的供氣裝置14送至腔壁11內的門板13處，但是當門板13旋轉開啟時，卻可以發(fā)現(xiàn)，位在腔壁11與門板13之間的連接管15，容易發(fā)生管路及配線干涉，甚至受到門板13壓迫的情形，在不小心的情況下也會出現(xiàn)扯斷管路及配線的情況，造成真空腔體1使用及維修上的不便。為此，也有廠商將上述柔軟的塑膠連接管15換裝成剛硬的不銹鋼連接管15，由此延長連接管15的使用壽命，然而如此一來，將使得門板13在開啟上更為不易，所以廠商干脆將門板13封死，令門板13無法開啟，而此卻又會相對降低門板13的使用性，因此上述真空腔體1在設計上仍有待改進。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于，提供一種可避免管路干涉且具有較佳使用性的具有外通管路的真空腔體。

本實用新型的一種具有外通管路的真空腔體，包含：一腔壁、一門框及一門板。該腔壁界定出一真空容室，并具有一由真空容室連通至外壁面的外通孔。該門框對應于外通孔地安裝在真空容室內且界定出一門口，并具有一界限出該門口的內周緣、一遠離內周緣且固接于腔壁的外周緣、一連接在內、外周緣間的框側面，及一由框側面經外周緣連通至外通孔的門框通道。該門板可朝一側旋轉開啟地蓋合關閉在該門框上，并具有一疊置在該框側面上且封閉門口的門側面、一相反于門側面的內通面，及一由門側面連通至內通面且連接該門框通道的門板通道。

本實用新型的有益效果在于：直接在門框與門板中穿設有相互連通的門框通道與門板通道，使得門板能旋轉開關以具有較佳的使用性，而且也不會發(fā)生管路干涉壓迫的情形。

附圖說明

圖1是以往真空腔體的一部分剖視示意圖，圖中的一管路未被剖切；

圖2是本實用新型的真空腔體的一優(yōu)選實施例的一部分剖視示意圖，圖中的一管路未被剖切。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明。

如圖2所示，本實用新型真空腔體的優(yōu)選實施例包含：一腔壁2、一門框3、一門板4及一氣封件5。

該腔壁2具有一內壁面21、一外壁面22、一由內壁面21界定而成的真空容室23及一由真空容室23連通至外壁面22的外通孔24。

該門框3對應于外通孔24地直立安裝在真空容室23內，且界定出一呈中空矩型的門口31，并具有一界限出該門口31的內周緣32、一遠離內周緣32且固接于腔壁2的內壁面21上的外周緣33、一連接在內、外周緣32、33間的框側面34，及一由框側面34經外周緣33連通至外通孔24的門框通道35。

該門板4可朝一側旋轉開啟地蓋合關閉在該門框3上，并具有一疊置在該框側面34上且封閉門口31的門側面41、一相反于門側面41的內通面42、一由門側面41連通至內通面42且連接該門框通道35的門板通道43，及一凹設在門側面41上且自門板通道43的一端周緣徑向往外擴大的嵌槽44。

該氣封件5為一由橡、塑膠材質制成的O型環(huán)，安裝在框側面34與門側面41之間，且嵌裝在該嵌槽44中，圈圍在門框通道35與門板通道43間。當然，在設計上也可以采用其他氣封構造，例如真空油脂，所以不以本實施例為限，在此不再詳細說明。