[發明專利]感測器組合

有效

• 申請號: 200810306576.5
• 申請日: 2008-12-27
• 公開（公告）號: CN101769784A
• 公開（公告）日: 2010-07-07
• 發明（設計）人: 陳杰良
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: G01H11/06
• 分類號: G01H11/06;G01P15/09;G01C19/56;H04N5/335;H01L27/146
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明是關于感測技術領域，特別是關于一種感測器組合。

背景技術

感測器具有許多應用，它的商業潛力正開始被人們所認識。感測器的類 型很多，包括有用于捕捉圖像的圖像感測器、用于捕捉聲音的聲音感測器、 用于測量物體的轉動角速度的陀螺儀及用于測量運動物體的加速度的加速度 計。這些感測器被廣泛使用于數碼相機、移動電話、導航儀、筆記本電腦等 產品中。

然而，這些感測器的功能單一，并不能滿足多功能的需求。

發明內容

為了解決現有技術中感測器功能單一的技術問題，本發明提供一種多功 能的感測器組合。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案為：所述感測器組合，包括一 基板，在基板上設置有互補金屬氧化物半導體圖像感測器、陀螺儀、加速度 計、聲音感測器及射頻感測器。所述聲音感測器包括振動膜層和背極板；所 述基板包括第一部分和與所述第一部分間隔的第二部分。所述振動膜層包括 懸置端、固定端和波紋結構。所述固定端固定在所述第一部分上，所述懸置 端放置在所述第二部分之上，所述波紋結構形成于所述固定端與所述懸置端 之間。在所述振動膜層邊緣形成若干第一通氣孔，所述振動膜層表面涂覆第 一電極層。所述背極板具有邊緣，所述邊緣固定在所述基板的所述第一部分 和所述第二部分上。所述背極板的內表面涂覆第二電極層。在所述背極板與 所述振動膜層之間直接形成一空氣層，且所述第二電極層與所述空氣層接觸， 所述振動膜層與所述空氣層接觸。在靠近所述背極板的邊緣形成若干第二通 氣孔。所述第一通氣孔、所述第二通氣孔與所述空氣層貫通。若干聲音孔形 成在所述背極板的中心部分。

所述互補金屬氧化物半導體圖像感測器包括光電二極管層、電源線路層、 門電極、第一絕緣層、第一金屬層、第二絕緣層、第二金屬層、第三絕緣層、 氮化物層、若干彩色濾光片、平面化層及若干微透鏡；光電二極管層設置在 上述基板表面，電源線路層形成于光電二極管層表面，門電極連接在電源線 路層與第一金屬層之間，第一絕緣層形成于光電二極管與第一金屬層之間， 第二絕緣層、第二金屬層、第三絕緣層、氮化物層依序設置在第一金屬層表 面，上述若干彩色濾光片形成矩陣，設置于氮化物層表面，平面化層設置于 氮化物層表面，并圍繞彩色濾光片，上述若干微透鏡設置于平面化層表面。

所述加速度計包括一封裝體，該封裝體為立方體，具有第一平面、第二 平面、第三平面和第四平面；在第一、二、三平面中分別形成一凹槽，在每 一凹槽底部設置第一正、負電極，導電性粘結劑和壓電振動片，導電性粘結 劑分別設置在第一正、負電極和壓電振動片之間；一蓋體氣密性地密封每一 個凹槽；上述第四平面與上述基板接觸。

所述陀螺儀包括一封裝體，該封裝體為立方體，具有第一平面、第二平 面、第三平面和第四平面；在第一、二、三平面中分別形成一凹槽，在每一 凹槽內設置一陀螺儀元件，一蓋體氣密性地密封每一凹槽；第四平面與上述 基板接觸。

與現有技術相比較，本發明的感測器組合功能多樣，具有圖像感測、聲 音感測、射頻感測、角速度測量和加速度測量的功能。

附圖說明

圖1是本發明實施例的感測器組合的邏輯結構示意圖。

圖2是本發明實施例的感測器組合的互補金屬氧化物半導體圖像感測器 的部分剖面圖。

圖3是本發明實施例的感測器組合的加速度計的立體圖。

圖4是沿圖3中的IV-IV線的剖面圖。

圖5是本發明實施例的感測器組合的加速度計的壓電振動片的示意圖。

圖6是沿圖5的VI-VI線的剖面圖。

圖7是本發明實施例的感測器組合的陀螺儀的立體圖。

圖8是本發明實施例的感測器組合的聲音感測器的剖面圖。

具體實施方式

為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及 實施例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施 例僅用于解釋本發明，并不用于限定本發明。

請參閱圖1，本發明實施例提供的一種感測器組合10包括互補金屬氧化物 半導體(complementary?metal?oxide?semiconductor，CMOS)圖像感測器100、 加速度計200、陀螺儀300、聲音感測器400及射頻(Radio?frequency，RF)感 測器500。