[發明專利]光纖琺珀加速度和壓力傳感器及其制造方法無效
| 申請號： | 200810305317.0 | 申請日： | 2008-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN101424697A | 公開（公告）日： | 2009-05-06 |
| 發明（設計）人： | 冉曾令;饒云江 | 申請（專利權）人： | 冉曾令 |
| 主分類號： | G01P15/03 | 分類號： | G01P15/03;G01L1/24;G01L11/02;G02B6/02;G02B6/255 |
| 代理公司： | 成都虹橋專利事務所 | 代理人： | 蒲 敏 |
| 地址： | 610054四川省成都市建*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光纖 加速度 壓力傳感器 及其 制造 方法 | ||
【權利要求1】光纖琺珀加速度和壓力傳感器，包括光纖(1)和被接光纖(2)，其特征在于：在所述光纖(1)的端面有微槽(4)，在所述被接光纖(2)上有突起(3)，所述光纖(1)和被接光纖(2)通過對接連接在一起，形成琺珀腔(5)和膜片(6)，所述琺珀腔(5)的光學反射面是平面。
【權利要求2】如權利要求1所述的光纖琺珀加速度和壓力傳感器，其特征在于：所述突起(3)設置在微槽(4)內。
【權利要求3】如權利要求1所述的光纖琺珀加速度和壓力傳感器，其特征在于：所述突起(3)設置在微槽(4)外。
【權利要求4】如權利要求1所述的光纖琺珀加速度和壓力傳感器，其特征在于：所述突起(3)有2個，分別設置在被接光纖(2)的兩端。
【權利要求5】光纖琺珀加速度和壓力傳感器的制造方法，其特征在于：該方法包括以下步驟：
1)在光纖(1)的端面加工微槽(4)；
2)在被接光纖(2)的端面加工一個突起(3)；
3)將步驟1和步驟2所形成的光纖對接在一起，形成琺珀腔(5)，制成光纖琺珀加速度和壓力傳感器。
【權利要求6】如權利要求5所述的光纖琺珀加速度和壓力傳感器的制造方法，其特征在于：所述步驟3是將被接光纖(2)有突起(3)的一端與光纖(1)上有微槽(4)的一端焊接，再將被接光纖(2)的外端面切割形成膜片(6)。
【權利要求7】如權利要求5所述的光纖琺珀加速度和壓力傳感器的制造方法，其特征在于：所述步驟3是將被接光纖(2)有突起(3)的一端與光纖(1)上有微槽(4)的一端焊接，再將被接光纖(2)的另一端加工一個突起(3)，并形成膜片(6)。
【權利要求8】如權利要求5所述的光纖琺珀加速度和壓力傳感器的制造方法，其特征在于：所述加工是采用紫外激光加工、飛秒激光加工、紅外激光加工或電子束刻蝕。
【權利要求9】如權利要求5所述的光纖琺珀加速度和壓力傳感器的制造方法，其特征在于：所述微槽(4)是圓柱形、長方體形或立方體形。
【權利要求10】如權利要求5所述的光纖琺珀加速度和壓力傳感器的制造方法，其特征在于：所述對接是采用激光熔接、電弧熔接、鍍膜對接或粘接。
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