[發(fā)明專利]表面聲波感測(cè)器無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200810303020.0 | 申請(qǐng)日： | 2008-07-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101634643A | 公開（公告）日： | 2010-01-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 周代栩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01N29/14 | 分類號(hào)： | G01N29/14 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518109廣東省深圳市*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 表面 聲波 感測(cè)器 | ||
1.一種表面聲波感測(cè)器，其包括：壓電基底，設(shè)置于壓電基底表面的輸入?叉指電極、輸出?叉指電極，以及設(shè)置于壓電基底表面且位于輸入?叉指電極與輸出?叉指電極之間的感測(cè)裝置，其特征在于，所述感測(cè)裝置包括納米柱陣列或納米管陣列，在納米柱或納米管表面具有感測(cè)材料層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波感測(cè)器，其特征在于：所述納米柱或納米管垂直于壓電基底。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波感測(cè)器，其特征在于：所述感測(cè)材料層的材料為氧化鋅、鈀或二氧化錫。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波感測(cè)器，其特征在于：所述納米柱為硅納米柱，所述納米管為碳納米管。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的表面聲波感測(cè)器，其特征在于：所述感測(cè)材料層的材料為氧化鋅，在所述感測(cè)材料層表面具有若干納米線。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的表面聲波感測(cè)器，其特征在于：所述納米線為氧化鋅納米線。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的表面聲波感測(cè)器，其特征在于：所述納米線的直徑比所述硅納米柱或碳納米管的直徑小。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的表面聲波感測(cè)器，其特征在于：所述感測(cè)材料層的厚度為10~100納米。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波感測(cè)器，其特征在于：所述壓電基底為壓電基板，或?yàn)榛寮芭c形成于基板上的壓電膜層構(gòu)成。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面聲波感測(cè)器作為紫外線感測(cè)器或氫氣感測(cè)器的應(yīng)用。?
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