[發(fā)明專利]涂敷層ND方向膜厚的自動測量裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810247527.9
• 申請日: 2008-12-30
• 公開（公告）號: CN101718541A
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發(fā)明（設計）人: 陳超;鄭彥標;王鵬年
• 申請（專利權）人: 四川虹歐顯示器件有限公司
• 主分類號: G01B21/08
• 分類號: G01B21/08
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛

1.一種涂敷層噴嘴方向膜厚的自動測量裝置，所述自動測量裝置用于多面取涂敷設備上，所述多面取涂敷設備具有橫梁和安裝于橫梁上的多個第一傳感器，其特征在于，所述自動測量裝置包括：

滑塊，可滑動地設置在所述橫梁上；

可伸縮的機械臂，一端固定于所述滑塊上；

第二傳感器，安裝于所述可伸縮的機械臂的另一端，所述第二傳感器至少具有通過控制所述可伸縮的機械臂的伸長而達到測量所述噴嘴方向膜厚的第一姿態(tài)，使所述第二傳感器在沿著所述噴嘴方向運動時不會碰到所述多個第一傳感器；以及

驅動裝置，驅動所述滑塊在橫梁上滑動。

2.根據(jù)權利要求1所述的涂敷層噴嘴方向膜厚的自動測量裝置，其特征在于，

所述第二傳感器還具有與所述多個第一傳感器平行的測量涂敷方向膜厚的第二姿態(tài)。

3.根據(jù)權利要求1所述的涂敷層噴嘴方向膜厚的自動測量裝置，其特征在于，

所述驅動裝置包括：伺服馬達、以及所述伺服馬達與所述滑塊之間的連動裝置。

4.根據(jù)權利要求1所述的涂敷層噴嘴方向膜厚的自動測量裝置，其特征在于，

所述可伸縮的機械臂和所述驅動裝置由所述多面取涂敷設備的主控制器所控制。

5.根據(jù)權利要求1所述的涂敷層噴嘴方向膜厚的自動測量裝置，其特征在于，所述橫梁上形成供所述滑塊滑動的滑軌。

6.根據(jù)權利要求1所述的涂敷層噴嘴方向膜厚的自動測量裝置，其特征在于，所述橫梁上安裝有滑軌。

7.一種根據(jù)權利要求1至6中任一項所述自動測量裝置的自動測量方法，其特征在于，包括以下步驟：

先使所述第二傳感器在所述第一姿態(tài)沿噴嘴方向移動，

測量出光玻璃的表面厚度數(shù)據(jù)；

在所述光玻璃進行涂敷之后，再使所述第二傳感器在所述第一姿態(tài)沿所述噴嘴方向移動而測量濕膜的表面厚度數(shù)據(jù)；

以及將上述兩組數(shù)據(jù)進行相減處理以獲得噴嘴方向的膜厚。

8.根據(jù)權利要求6所述的自動測量方法，其特征在于，還包括以下步驟：

通過控制可伸縮的機械臂，使所述第二傳感器處于測量涂敷方向膜厚的第二姿態(tài)以測量所述涂敷方向的膜厚。