[發明專利]改進型風載荷壓力傳感器

有效

• 申請號: 200810244556.X
• 申請日: 2008-11-20
• 公開（公告）號: CN101738281A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 王文襄;王善慈;申建紅;莊加局;李春祥;王冰
• 申請（專利權）人: 昆山雙橋傳感器測控技術有限公司
• 主分類號: G01L9/06
• 分類號: G01L9/06
• 代理公司: 昆山四方專利事務所 32212
• 代理人: 盛建德

1.一種改進型風載荷壓力傳感器，包含傳感器殼體、充油敏感體 (3)和信號調理電路板(5)，其特征在于，該充油敏感體(3)由呈 凹槽的敏感體殼體(31)、硅集成敏感芯片(37)、固支環(38)和密 封固定于該凹槽口的彈性隔離膜(35)組成，該硅集成敏感芯片(37) 背壓面環周通過固支環(38)密封固定于該凹槽底部，該硅集成敏感 芯片背壓面與固支環內環面之間形成的背壓腔通過該凹槽底部上的背 壓導氣管(33)與外界氣壓連通，該硅集成敏感芯片受壓面設有惠斯 通電橋的敏感區(40)，該惠斯通電橋上應變電阻通過內引線(36)引 出，并經該凹槽底上引線柱(32)引入到該信號調理電路板(5)后輸 出，該硅集成敏感芯片受壓面之非敏感區(41)上還設有感溫傳感器、 加熱電阻以及根據該感溫傳感器來控制該加熱電阻的恒溫控制電路， 該彈性隔離膜、凹槽內環面和硅集成敏感芯片受壓面之間形成的充油 腔(34)填充有壓力傳導介質，并且：

1)該硅集成敏感芯片為單片集成或混合集成；

2)該傳感器殼體由呈扁平管狀的基座(1)和密封固定于該基座 底部的底板(9)組成，該敏感體殼體(31)周部通過密封圈(4)密封 固定于該基座前端的臺階孔，該基座內周面、敏感體殼體底面和底板之 間形成內腔室(13)，該信號調理電路板通過絕緣墊片(6)固定于該內 腔室，并由該基座側部信號引出線(8)輸出標準電壓輸出信號，該背 壓導氣管(33)連通該內腔室(13)，并經該基座側部的毛細管(7)連 通外界氣壓。

2.如權利要求1所述的一種改進型風載荷壓力傳感器，其特征在 于，該基座頂部環周固定上蓋板(2)，該上蓋板對應該臺階孔的部位設 有多個便于引入風載荷的風雨孔(12)，該基座頂部側面還設有用于排 泄雨水的排水孔(11)。

3.如權利要求1所述的一種改進型風載荷壓力傳感器，其特征在 于，該固支環為具有硅膨脹特性的Pyrex玻璃環或GG-17硼硅玻璃。

4.如權利要求3所述的一種改進型風載荷壓力傳感器，其特征在 于，該固支環為與該硅集成敏感芯片具有相同熱漲特性的另一個硅片， 并通過硅硅鍵合固定于該硅集成敏感芯片。

5.如權利要求3所述的一種改進型風載荷壓力傳感器，其特征在 于，該硅集成敏感芯片引出的壓阻信號經該信號調理板進行傳感器特 性補償、差模放大、零位失調和抑制共模干擾后形成標準電壓輸出信 號。

6.如權利要求3所述的一種改進型風載荷壓力傳感器，其特征在 于，該傳感器殼體的厚度不大于15mm，直徑不大于50mm，該充油敏感 體壓力量程不大于5kPa。

7.如權利要求3所述的一種改進型風載荷壓力傳感器，其特征在 于，該壓力傳導介質為硅油。