[發明專利]一種連續卷繞式磁控濺射真空鍍膜裝置

無效

• 申請號: 200810241896.7
• 申請日: 2008-12-30
• 公開（公告）號: CN101768726A
• 公開（公告）日: 2010-07-07
• 發明（設計）人: 丘仁政;陳漢文;羅賓
• 申請（專利權）人: 深圳市鵬桑普太陽能股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56;C23C14/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

[0002]技術領域

???本發明屬于板式太陽能中的太陽能選擇性吸收涂層的連續鍍膜設備，屬于太陽能熱利用領域，尤其可以持續不間斷在金屬帶卷上鍍制選擇性鍍膜涂層的專用生產設備。

[0004]背景技術

[0005]?太陽能熱水器就是吸收太陽的輻射熱能，加熱冷水提供給人們在生活、生產中使用的節能設備。它是我國太陽能熱利用中最為成熟和最為先進的產品。為百姓提供環保、安全、節能、衛生的新型熱水器產品。我過前些年的太陽能熱水器主要是以真空管太陽能熱水器為主，但是真空管太陽能熱水氣只時候使用在小型獨立使用的太陽能熱水器中。隨著太陽能利用的不斷進步，現在一些大型太陽能熱水器多采用平板式太陽能熱水器，由于這種太陽能熱水器中的集熱板采用的都是金屬板，在堅固耐用方面具有顯著的優點，基本可以達到與建造物具有相同的使用壽命。而其中的集熱板表面的選擇性涂層的鍍制質量和性能，是決定整個太陽能設備性能的關鍵技術。通過對中國專利的查詢，中國專利200420077793.6中公開了一種太陽能選擇性吸收涂層連續鍍膜裝置，該裝置中是采用在每一個工藝室之前，或者連續鍍膜時兩個工藝室之間設置一個獨立的真空過度裝置，這樣可以達到獨立部件的連續鍍制。但是上述的設備在鍍制過程中，工件在每一個鍍膜之后，都會脫落真空環境之后進入真空過度裝置中，這樣由于在兩次鍍制過程中工件在溫度和真空條件變化，容易影響鍍膜的質量。另外上述的連續鍍膜裝置只是獨立部件的連續鍍膜裝置，還無法實現對于成卷的金屬條帶進行長時間連續鍍膜生產。隨著我國板式太陽能設備應用的普及和擴大。行業中急需一種生產效率高，且產品質量非常穩定的新型鍍膜裝置。上述的問題長期存在于本行業中，至今沒有得到一個非常有效的技術解決方案。

[0006]發明內容

本發明的主要目的是提供一種長時間持續鍍制太陽能選擇性涂層的專用鍍膜設備，該設備具有生產效率高，質量穩定和膜層性能優異的優點。

為了達到上述的技術目的，本發明采用的技術解決方案包括以下技術內容：一種連續卷繞式磁控濺射真空鍍膜裝置，包括放卷室、收卷室、張力控制室、預處理室、工藝室組成，放卷室和收卷室分別位于設備的首末兩端，放卷室和收卷室分別與一個張力控制室連接，放卷室一端的張力控制室連接有預處理室，預處理室和收卷室一端的張力控制室之間設置有至少一個工藝室，上述的放卷室、收卷室的一端及張力控制室、預處理室、工藝室的兩端均設置有相同規格的法蘭盤，并通過法蘭盤依次連接上述放卷室、收卷室、張力控制室、預處理室、工藝室為一體，所述的放卷室、張力控制室、預處理室、工藝室、收卷室均為真空室，所述的放卷室、張力控制室、預處理室、工藝室、收卷室中均設有傳輸使用的輥。

所述的放卷室中設置有低溫吸附阱，一般低溫吸附阱設置為-120℃深冷阱，其中部設置有放置被鍍膜帶材的輥、放卷室內腔與真空系統如擴散泵等真空泵連接。

所述的收卷室同樣設有放置帶材的收卷輥，收卷室內腔與真空系統如擴散泵等真空泵連接。

所述的兩個張力控制室中內腔連接有真空系統如擴散泵等真空泵，且其內腔中水平設置有由三個輥構成的三角形張力控制裝置。

所述的預處理室中設置有離子源，其空腔中連接真空系統如分子泵等真空泵。

所述的工藝室中設置有一組中頻靶，其中設置有三個輥，中頻靶圍繞中部的主輥布置，以便做磁控濺射時靶材材料均勻濺射到待鍍的材料帶材表面，中部的主輥是水冷輥，便于通過水冷調節鍍膜工藝所需要的穩定溫度，工藝室分為上下兩個腔體，用隔離板隔開，分別連接單獨的真空系統（如分子泵系統），分別抽真空，并且控制不同的真空度，防止上下室的反應氣體相串，所述的一組中頻靶主要是根據產品工藝進行調整，如果需要鍍制的膜層的厚度薄，那么只使用一個中頻靶就可以滿足鍍制工藝的要求，如果鍍制的膜層的厚度較厚，則需要設置兩個三個甚至更多的中頻靶。