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[發明專利]用于等離子顯示裝置的前基板及其制作方法無效

專利信息
申請號: 200810241071.5 申請日: 2008-12-25
公開(公告)號: CN101728147A 公開(公告)日: 2010-06-09
發明(設計)人: 劉君民 申請(專利權)人: 四川虹歐顯示器件有限公司
主分類號: H01J9/02 分類號: H01J9/02;H01J17/04;H01J17/49
代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 代理人: 余剛
地址: 100085 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 等離子 顯示裝置 前基板 及其 制作方法
【說明書】:

技術領域

發明涉及等離子顯示器領域,具體而言,涉及一種用于等離子顯示裝置的前基板及其制作方法。

背景技術

近年來,等離子顯示面板(稱作PDP)制作技術在不斷的完善并逐漸成熟。較成熟的前基板制作方法為:將玻璃基板退火、清洗后,濺射透明電極ITO(Indium-Tin?Oxide,銦錫氧化物)薄膜;貼膜前清洗、貼干膜光刻膠(DFR)膜、曝光、顯影、刻蝕、剝膜,此時透明電極形成;形成行電極(BUS)前清洗、印刷黑/白BUS漿料、干燥、曝光、顯影、燒成,此時BUS形成;印刷黑條(b/s)漿料、干燥、曝光、顯影、燒成,此時b/s形成;介質前清洗、印刷前介質漿料,燒成,此時前介質形成;之后是氧化鎂(MgO)前清洗、蒸鍍MgO,此時前基板形成。其中,透明電極ITO與BUS以柵型圖案在玻璃基板的橫方向延伸,在縱方向排列。

由于要保證像素開口率和使放電著火電壓最低,這種三電極表面放電的彩色交流等離子顯示屏在放電時,對透明電極ITO薄膜層有所依賴,可是濺射透明電極ITO薄膜這種透過率好且導電的薄膜層成本較高。

為了不影響像素開口率和保證放電著火電壓最低,就要使匯流BUS電極圖形滿足一定的寬度,同時也要使匯流BUS電極的x電極和y電極達到最佳的距離。然而當前最大的難題是,目前感光性匯流BUS電極的材料極限造成了工藝的局限,也就是說感光性銀漿料的分辨率在20-30μm,若要使BUS電極的圖形寬度、圖形內部圖案的寬度或BUS電極之間的寬度達到或接近上述20-30μm較難實現,而且BUS電極顯影后圖形邊緣不整齊,較易出現鋸齒化問題。

在實現本發明過程中,發明人發現現有技術的制作方法受材料極限的限制,工序較復雜,成本較高。

發明內容

本發明旨在提供用于等離子顯示裝置的前基板制作方法,能夠解決現有技術的制作方法受材料極限的限制,工序較復雜,成本較高的問題。

在本發明的實施例中,提供了一種用于等離子顯示裝置的前基板制作方法,具體包括以下步驟:將玻璃基板清洗后退火;在玻璃基板上印刷黑條漿料后干燥,再用有孔匯流電極曝光用黑條母版曝光;在玻璃基板上印刷第一層BUS電極白漿料后干燥,再用有孔匯流電極曝光用第一匯流行電極母版曝光;在玻璃基板上印刷第二層BUS電極白漿料后干燥,再用有孔匯流電極曝光用第二匯流行電極母版曝光;對玻璃基板進行一次顯影后燒成。

在本發明的實施例中,還提供了一種用于等離子顯示裝置的前基板,包括玻璃基板(100),其中,玻璃基板上具有黑條(101a)和黑匯流BUS電極(101b),黑條和黑匯流BUS電極為一體式結構;黑條(101a)和黑匯流BUS電極(101b)的表面具有第一層匯流BUS電極(102a);第一層匯流BUS電極(102a)的表面具有第二層匯流BUS電極(103);黑條(101a)、黑匯流BUS電極(101b)和第一層匯流BUS電極(102a)以及第二層匯流BUS電極(103)的表面具有導電層(104)。

上述實施例通過在玻璃基板上印刷黑條(b/s)漿料而形成黑條(b/s)與黑BUS電極為一體式結構,也就是黑條與黑BUS電極之間沒有間隙,解決了在現有技術中黑條(b/s)卷曲和邊緣鋸化問題,同時簡化了工序;然后通過印刷一層白BUS漿料運用有孔匯流電極曝光用第一匯流行電極母版曝光,再印刷一層白BUS漿料運用有孔匯流電極曝光用第二匯流行電極母版曝光后,其圖形在基板上重疊,顯影后即為所要的BUS圖形,由于在玻璃基板上先印刷的黑條(b/s)漿料也可以說是黑BUS漿料,再印刷兩層白BUS漿料,所以運用有孔匯流電極曝光用第一匯流行電極母版和有孔匯流電極曝光用第二匯流行電極母版曝光后,形成白BUS電極的同時黑BUS電極自然形成,使得光刻匯流BUS電極上的透光孔成為可能,克服了現有技術的制作方法受材料極限的限制,工序較復雜,成本較高的問題。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本發明的進一步理解,構成本申請的一部分,本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明,并不構成對本發明的不當限定。在附圖中:

圖1示出了根據本發明的一個實施例的用于等離子顯示裝置的前基板制作方法流程圖;

圖2示出了根據本發明的一個實施例的用于等離子顯示裝置的前基板示意圖;

圖3示出了根據本發明的一個實施例的用于等離子顯示裝置的前基板采用的黑條b/s和有孔匯流電極沿圖2V2--V2的部分截面圖;

圖4示出了根據本發明的一個實施例的用于等離子顯示裝置的前基板采用的黑條b/s和有孔匯流電極的X電極的部分立體圖;

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