[發明專利]觸摸式電子紙及其制造方法

有效

• 申請號: 200810240965.2
• 申請日: 2008-12-24
• 公開（公告）號: CN101762922A
• 公開（公告）日: 2010-06-30
• 發明（設計）人: 孫增輝;胡文杰;張卓;王剛;邵喜斌
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G02F1/167
• 分類號: G02F1/167;H01L27/12;H01L21/84
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

1.一種觸摸式電子紙，包括對盒的薄膜晶體管基板和透明電極基板，其 特征在于，所述透明電極基板包括形成在第一基板上的公共電極、形成在公 共電極上的作為光傳輸通道的導光柱和涂覆在導光柱以外的公共電極表面上 的微膠囊電子墨水，所述薄膜晶體管基板包括形成在第二基板上的用于與透 明電極基板的公共電極形成驅動微膠囊電子墨水的電場的顯示電極、用于驅 動所述顯示電極的第一薄膜晶體管、用于探測通過所述導光柱透射的光并產 生電平信號的第二薄膜晶體管和用于讀取所述電平信號并發送給后端處理系 統的第三薄膜晶體管，所述導光柱與所述第二薄膜晶體管相對設置。

2.根據權利要求1所述的觸摸式電子紙，其特征在于，所述導光柱的高 度為薄膜晶體管基板與透明電極基板之間間距的35％～65％。

3.根據權利要求2所述的觸摸式電子紙，其特征在于，所述導光柱的高 度為薄膜晶體管基板與透明電極基板之間間距的50％。

4.根據權利要求1～3中任一權利要求所述的觸摸式電子紙，其特征在 于，所述第一薄膜晶體管包括：

第一柵電極，形成在第二基板上，并與第一柵線連接；

柵絕緣層，形成在第一柵電極上，并覆蓋整個第二基板；

第一有源層，包括半導體層和摻雜半導體層，形成在柵絕緣層上，并位 于第一柵電極上方；

第一源電極，一端位于第一有源層上，另一端與數據線連接；

第一漏電極，一端位于第一有源層上，另一端與顯示電極連接；

第一TFT溝道區域，形成在第一源電極與第一漏電極之間，第一源電極 與第一漏電極之間的摻雜半導體層被完全刻蝕掉，露出半導體層；

鈍化層，形成在第一源電極和第一漏電極上，并覆蓋整個第二基板，其 上開設有使顯示電極與第一漏電極連接的鈍化層過孔。

5.根據權利要求1～3中任一權利要求所述的觸摸式電子紙，其特征在 于，所述第二薄膜晶體管包括：

第二柵電極，形成在第二基板上，并與第二柵線連接；

柵絕緣層，形成在第二柵電極上，并覆蓋整個第二基板；

第二有源層，包括半導體層和摻雜半導體層，形成在柵絕緣層上，并位 于第二柵電極上方；

第二源電極，一端位于第二有源層上，另一端與電源線連接；

第二漏電極，一端位于第二有源層上，另一端與第三薄膜晶體管的第三 源電極連接；

第二TFT溝道區域，形成在第二源電極與第二漏電極之間，第二源電極 與第二漏電極之間的摻雜半導體層被完全刻蝕掉，露出半導體層；

鈍化層，形成在第二源電極和第二漏電極上，并覆蓋整個第二基板。

6.根據權利要求1～3中任一權利要求所述的觸摸式電子紙，其特征在 于，所述第三薄膜晶體管包括：

第三柵電極，形成在第二基板上，并與第三柵線連接；

柵絕緣層，形成在第三柵電極上，并覆蓋整個第二基板；

第三有源層，包括半導體層和摻雜半導體層，形成在柵絕緣層上，并位 于第三柵電極上方；

第三源電極，一端位于第三有源層上，另一端與第二薄膜晶體管的第二 漏電極連接；

第三漏電極，一端位于第三有源層上，另一端與信號線連接；

第三TFT溝道區域，形成在第三源電極與第三漏電極之間，第三源電極 與第三漏電極之間的摻雜半導體層被完全刻蝕掉，露出半導體層；

鈍化層，形成在第三源電極和第三漏電極上，并覆蓋整個第二基板。