[發明專利]一種鐵磁薄膜的磁彈性性能同時在線檢測方法

無效

• 申請號: 200810240425.4
• 申請日: 2008-12-19
• 公開（公告）號: CN101441195A
• 公開（公告）日: 2009-05-27
• 發明（設計）人: 馮雪;董雪林;黃克智
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01N27/72
• 分類號: G01N27/72
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種鐵磁薄膜的磁彈性性能同時在線檢測方法，屬于工程材料、結構形變及力學實驗技術領域。

背景技術

鐵磁薄膜材料是微電子與信息技術中重要的一類功能材料，具有多種獨特的物理特性，如磁各向異性、磁致伸縮效應、磁光效應、磁致電阻效應等，在很多方面得到了廣泛的應用，隨著人類社會高技術的發展，要求研制越來越多的新型磁性薄膜材料和器件。鐵磁薄膜也由于其優異的力磁耦合特性，在微機電系統(MEMS)得到廣泛的應用，例如，磁性微驅動器、各種微傳感器、基于磁電阻效應的微型磁閥門傳感器等。

近年來，已有許多國內外學者對薄膜基底磁彈性系統在理論、數值模擬和實驗測量方面進行了研究。Sander詳細綜述了鐵磁薄膜中應力與磁各向異性的關系，論述了基于晶體結構的磁彈性描述，并通過Kerr磁光效應測量了磁彈性耦合系數(Sander?D.，1999.The?correlationbetween?mechanical?stress?and?magnetic?anisotropy?in?ultrathin?films.Rep.Prog.Phys.，62：809-858.)；Shick等人(Shick?A.B.，Novikov?D.L.and?Freeman?A.J.1997.Relativisticspin-polarized?theory?of?magnetoelastic?coupling?and?magnetic?anisotropy?strain?dependence：Application?to?Co/Cu(001).Phys.Rev.B56：R14?259-R14262.)基于磁各向異性能量密度計算了Co單層膜的磁彈性耦合系數；Lacheisserie(du?Tr′emolet?de?Lacheisserie?E.，1995.Definitionand?measurement?of?the?surface?magnetoelastic?coupling?coefficients?in?thin?films?and?multilayers.Phys.Rev.B，51：15925-15932.)討論了表面效應對磁彈性耦合的影響，并研究了表面對磁彈性耦合系數的貢獻。上述的工作多是從物理的角度考慮磁彈性耦合行為，缺乏力—磁耦合的系統化表述，尤其缺乏力學的嚴格推導。