[發(fā)明專利]匹配器及等離子體設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810240188.1
• 申請日: 2008-12-18
• 公開（公告）號: CN101754567A
• 公開（公告）日: 2010-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;H01J37/32
• 代理公司: 北京凱特來知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11260
• 代理人: 趙鎮(zhèn)勇

1.一種匹配器，其特征在于，該匹配器自輸入端至輸出端依次設(shè)有傳感器、匹配網(wǎng)絡(luò)，所述輸入端與輸出端之間設(shè)有變壓器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述變壓器設(shè)于所述傳感器與所述匹配網(wǎng)絡(luò)之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述變壓器設(shè)于所述匹配網(wǎng)絡(luò)之后。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述變壓器設(shè)于所述匹配網(wǎng)絡(luò)之內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的匹配器，其特征在于，所述匹配網(wǎng)絡(luò)包括串聯(lián)可變電抗元件、并聯(lián)可變電抗元件，所述變壓器設(shè)于所述串聯(lián)可變電抗元件與所述并聯(lián)可變電抗元件之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的匹配器，其特征在于，所述變壓器的初級線圈和次級線圈至少一個是可變線圈。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的匹配器，其特征在于，所述可變線圈包括多個抽頭，根據(jù)需要選擇連接不同的抽頭。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的匹配器，其特征在于，所述可變線圈的多個抽頭通過繼電器選擇連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的匹配器，其特征在于，包括控制器，所述控制器接收所述傳感器檢測到的信號，并進(jìn)行處理，并根據(jù)處理的結(jié)果控制所述可變電抗元件的變化。

10.一種等離子體設(shè)備，包括射頻源、反應(yīng)室，其特征在于，所述射頻源與所述反應(yīng)室之間連接有權(quán)利要求1至9任一項所述的匹配器。