[發明專利]300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置

無效

• 申請號: 200810240139.8
• 申請日: 2008-12-17
• 公開（公告）號: CN101776386A
• 公開（公告）日: 2010-07-14
• 發明（設計）人: 鐘華;趙星梅;胡星強;艾倫·埃馬米
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F27B1/10
• 分類號: F27B1/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明屬于一種用于300mm硅片熱處理的氧化爐設備，具體的是一種用于300mm硅片氧化處理的立式氧化爐的爐體爐絲固定裝置。

背景技術

氧化爐是用于硅片進行氧化、退火等熱處理工藝的半導體設備，現在的氧化爐，大都是臥式結構，其溫度均勻性及控溫精度不夠理想，操作和控制不夠精確靈活，自動化程度低、生產效率和產品質量不夠高，不能適應300mm硅片的生產需求。因此，需要提出一種結構改進的立式氧化爐。需要在爐體爐絲引線固定裝置上進行全新的設計。

發明內容

本發明的目的是為了解決上述技術問題，提出一種300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置，該裝置結構新穎簡單適用，固牢性強，對爐絲高溫狀態的保護結構科學、合理。

本發明的目的是通過以下技術方案來實現的：300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置，其特征在于：該固定裝置由數個絕緣子組構成，每個絕緣子組設有支撐桿、頂部絕緣子、中部絕緣子、底部絕緣子，該頂部絕緣子、中部絕緣子、底部絕緣子穿在所述支撐桿上，上下相鄰兩個絕緣子的凹凸部分相互吻合，并各設有一個半圓凹槽相對，形成空隙，該空隙的直徑大于爐絲的直徑，爐絲支撐在該絕緣子間的空隙中，支撐桿的上下兩端分別固定在氧化爐爐體的頂塊和底塊上；數個絕緣子組在氧化爐爐體內圓周上均勻分布，頂部絕緣子的厚度在圓周方向上依次減少，相對應的底部絕緣子的厚度則依次增加。

本發明的300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置，其絕緣子的設計形式有利于爐絲加熱時的熱變形及恢復，有利于加熱元件壽命的提高。同時使爐絲的固定更加準確、可靠、合理。本裝置中各絕緣子具有凸緣，凸緣上下相扣，保證各個絕緣子之間沒有相對轉動，使爐體的結構更加合理。

附圖說明

圖1是本發明的整體結構示意圖；

圖2是本發明的上絕緣子的俯視圖；

圖3是本發明的上絕緣子的側視圖；

圖4是本發明的中絕緣子的俯視圖；

圖5是本發明的中絕緣子的側視圖；

圖6是本發明的下絕緣子的俯視圖；

圖7是本發明的下絕緣子的側視圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明：實施例：參見附圖，300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置，該固定裝置由16個絕緣子組構成，每個絕緣子組設有支撐桿1、1個頂部絕緣子2、100個中部絕緣子3、1個底部絕緣子4，該頂部絕緣子、中部絕緣子、底部絕緣子穿在所述支撐桿上，上下相鄰兩個絕緣子的凹凸部分相互吻合，并各設有一個半圓凹槽相對，形成空隙，該空隙的直徑大于爐絲6的直徑，爐絲支撐在該絕緣子間的空隙中，支撐桿的上下兩端分別固定在氧化爐爐體的頂塊5和底塊5.1上；16個絕緣子組在氧化爐爐體內圓周上均勻分布，頂部絕緣子的厚度在圓周方向上依次減少，相對應的底部絕緣子的厚度則依次增加，以保證爐體上下底面水平。