[發明專利]一種生產線設備的控制裝置及控制系統

無效

• 申請號: 200810240096.3
• 申請日: 2008-12-18
• 公開（公告）號: CN101424945A
• 公開（公告）日: 2009-05-06
• 發明（設計）人: 付金生
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種生產線設備的控制裝置，所述生產線設備包括多個受控器件，其特征在于，所述控制裝置位于工控機中，通過通訊卡和各個受控器件相連，所述控制裝置包括：

配置模塊，用于配置各功能控制模塊驅動受控器件所執行的動作及執行序列；

調度模塊，包括讀取子模塊和線程維護子模塊，所述讀取子模塊用于從配置模塊讀取所需功能控制模塊的執行動作及執行序列；所述線程維護子模塊用于針對各個功能控制模塊維護相應的線程；

至少一個功能控制模塊，包括序列執行子模塊，用于在相應的線程中驅動相應的受控器件按照所述執行動作及執行序列運行。

2、如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述調度模塊還包括：退出控制子模塊，用于控制功能控制模塊退出運行狀態，并停止退出運行狀態的功能控制模塊的線程。

3、如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述調度模塊還包括：高效控制子模塊，用于在功能控制模塊執行某個動作、某幾個動作或整個動作序列的時間超過相應的預設時間閾值時，產生報警信息或提示信息。

4、如權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述調度模塊還包括：運行狀態控制子模塊，用于在功能控制模塊執行某個動作、某幾個動作或整個動作序列出錯時，產生報警信息或提示信息。

5、如權利要求1、2、3或4所述的裝置，其特征在于，所述生產線設備為等離子增強化學氣相沉積設備，所述裝置包括以下功能控制模塊：

預熱腔功能控制模塊，其中的序列執行子模塊，用于在相應的線程中驅動相應的受控器件執行：傳片、加熱、抽真空、充大氣、送片的動作組合成的序列；

反應腔功能控制模塊，其中的序列執行子模塊，用于在相應的線程中驅動相應的受控器件執行：傳片、加熱、抽真空、工藝、吹掃、送片的動作組合成的序列：

冷卻腔功能控制模塊，其中的序列執行子模塊，用于在相應的線程中驅動相應的受控器件執行：傳片、冷卻、抽真空、充大氣、送片的動作組合成的序列；

載板傳動功能控制模塊，其中的序列執行子模塊，用于在相應的線程中驅動相應的受控器件執行：載板裝載、載板卸載、載板回收的動作組合成的序列。

6、如權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述預熱腔功能控制模塊、反應腔功能控制模塊或者冷卻腔功能控制模塊還包括：

傳片前檢查子模塊，用于在執行傳片動作前，檢測相應的受控器件是否滿足傳片動作執行條件，若是，則執行所述傳片動作；否則，等待一定時間，直到相應的受控器件滿足傳片動作執行條件；

送片前檢查子模塊，用于在執行送片動作前，檢測相應的受控器件是否滿足送片動作執行條件，若是，則執行所述送片動作；否則，等待一定時間，直到相應的受控器件滿足送片動作執行條件。

7、一種生產線設備的控制系統，所述生產線設備包括多個受控器件，其特征在于，所述控制系統包括：

工控機，用于控制生產線設備運行；

通訊卡，位于工控機中，用于在工控機與生產線設備的受控器件之間進行通訊；

控制裝置，位于工控機中，通過通訊卡和各個受控器件相連，所述控制裝置包括：

配置模塊，用于配置各功能控制模塊驅動受控器件所執行的動作及執行序列；

調度模塊，包括讀取子模塊和線程維護子模塊，所述讀取子模塊用于從配置模塊讀取所需功能控制模塊的執行動作及執行序列；所述線程維護子模塊用于針對各個功能控制模塊維護相應的線程；以及，

至少一個功能控制模塊，包括序列執行子模塊，用于在相應的線程中驅動相應的受控器件按照所述執行動作及執行序列運行。

8、如權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述調度模塊還包括：退出控制子模塊，用于控制功能控制模塊退出運行狀態，并停止退出運行狀態的功能控制模塊的線程。

9、如權利要求8所述的裝置，其特征在于，所述調度模塊還包括：高效控制子模塊，用于在功能控制模塊執行某個動作、某幾個動作或整個動作序列的時間超過相應的預設時間閾值時，產生報警信息或提示信息。

10、如權利要求9所述的裝置，其特征在于，所述調度模塊還包括：運行狀態控制子模塊，用于在功能控制模塊執行某個動作、某幾個動作或整個動作序列出錯時，產生報警信息或提示信息。