[發(fā)明專利]金砷合金材料及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810239843.1
• 申請日: 2008-12-19
• 公開（公告）號: CN101748307A
• 公開（公告）日: 2010-06-23
• 發(fā)明（設計）人: 姜學昭;董寶全;史秀梅
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬與稀土應用研究所
• 主分類號: C22C5/02
• 分類號: C22C5/02;C22C1/03
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 朱麗華

1.一種金砷合金材料的制備方法，該合金材料的成分組成及質量百分比為As：1-20％，Au：余量，其特征在于，包括如下步驟：

A、制備金砷中間合金：

a、按所需中間合金的配比范圍稱重金、砷材料，該金、砷材料純度均在5N以上；

b、按砷、金的順序先后放入石英坩堝中；

c、將石英坩堝抽真空至4～6Pa后，將坩堝密封；

d、將石英坩堝放入密封電阻爐內；

e、升溫，控制升溫速度8～12℃/分鐘；

f、爐內溫度升至600℃時，向爐內充氬氣，控制爐內壓力在80-110MPa；

g、電阻爐以8～12℃/分鐘的升溫速度繼續(xù)升溫；

h、控制爐內溫度，至1100-1500℃，使高純金熔化；

i、控制爐內的溫度在1100-1500℃，靜止20～30分鐘，精煉金砷熔體；

j、保持爐內的壓力，以20℃/分鐘速度降溫至680～1050℃；

k、泄去爐內壓力，快速打開坩堝密封塞，將合金熔液澆鑄到鑄鐵模內，得到中間合金錠；

B、金砷合金精煉熔鑄：

a、按所需金砷合金的配比量，將步驟A得到的中間合金錠再與剩余金一起加入中頻真空感應爐中；

b、抽真空至4～6Pa；

c、升溫，控制升溫速度350～500℃/分鐘；

d、爐內溫度升至600℃時，向爐內充氬氣，控制爐內壓力在80-110MPa；

e、升溫速度為350～500℃/分鐘繼續(xù)升溫，將爐內溫度升至750～1200℃之間；

f、爐內溫度達到750～1200℃后，保溫精煉1～2分鐘；

g、控制澆鑄溫度在780～1150℃之間，澆鑄，得到金砷合金材料。

2.一種金砷合金材料，其特征在于，它是用權利要求1所述方法制備的。

3.根據(jù)權利要求2所述金砷合金材料，其特征在于，所述金砷合金材料的成分組成及質量百分比為As：1-4％，Au：余量。

4.一種P.L.S波段硅功率晶體管金屬化用蒸鍍材料的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：

A、壓力加工：將利用權利要求1制備方法得到的金砷合金鑄錠用冷壓力加工方法進行壓力加工，將其延展為符合厚度要求的合金箔材或板材；?

B、機加工：

將壓力加工好的合格的合金箔按照所需要的尺寸進行標準剪裁，形成蒸鍍材料；

C、表面處理：

將加工好的蒸鍍材料用酸性清洗液通過浸泡法、攪拌法進行清洗，去除加工過程中造成的污染，使材料表面清潔、光亮。

5.根據(jù)權利要求4所述的P.L.S波段硅功率晶體管金屬化用蒸鍍材料的制造方法，其特征在于，所述酸性清洗液選自pH為1-3的硫酸溶液、硝酸溶液或鹽酸溶液。

6.一種P.L.S波段硅功率晶體管金屬化用蒸鍍材料，其特征在于：它是用權利要求2所述的金砷合金經(jīng)加工制成。

7.一種P.L.S波段硅功率晶體管金屬化用濺射靶材的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：

A、壓力加工：

將利用權利要求1制備方法得到的金砷合金鑄錠用冷壓力加工方法進行壓力加工，將其延展為符合厚度要求的合金板材；

B、機加工：

將壓力加工好的完整的合金板材按照所需要的尺寸標準進行車銑，形成濺射靶材；

C、表面處理：

將加工好的靶材用酸性清洗液通過浸泡法、攪拌法進行清洗，去除加工過程中造成的污染，使材料表面清潔、光亮。

8.根據(jù)權利要求7所述的P.L.S波段硅功率晶體管金屬化用濺射靶材的制造方法，其特征在于，所述酸性清洗液選自pH為1-3的硫酸溶液、硝酸溶液或鹽酸溶液。

9.一種P.L.S波段硅功率晶體管金屬化用濺射靶材，其特征在于：它是用權利要求2所述的金砷合金經(jīng)加工制成。?