[發(fā)明專利]集成光柵微懸臂梁生化傳感器及其芯片制作方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810239541.4
• 申請(qǐng)日: 2008-12-12
• 公開（公告）號(hào): CN101750481A
• 公開（公告）日: 2010-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉雄英;陳烽;伍康;劉力濤;周兆英
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N33/50
• 分類號(hào): G01N33/50
• 代理公司: 北京泛華偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11280
• 代理人: 王鳳華

1.一種集成光柵微懸臂梁生化傳感器，包括：

一透明基底；

覆于所述透明基底上表面的金屬光柵；

一由錨點(diǎn)和微懸臂組成的懸臂梁組件；所述錨點(diǎn)與所述透明基底相連；所述微 懸臂上表面上覆有生物探針附著層，所述微懸臂下表面為光反射面；所述微懸臂長(zhǎng) 度100－3000微米，寬度10-300微米，厚度0.1-10微米；所述微懸臂與透明基底 間設(shè)有間隙，所述微懸臂與透明基底之間的間隙為0.2-30微米；

粘附于所述生物探針附著層上表面的特異性生物探針；

光電探測(cè)器和放置在所述金屬光柵正下方的激光二極管，所述激光二極管發(fā)出 的激光照射所述金屬光柵，部分激光透過所述金屬光柵照射到微懸臂梁的下表面， 被反射后再透過金屬光柵，部分激光被金屬光柵表面直接反射，

其中微懸臂與透明基底間的間隙的大小被設(shè)置為能夠使透過金屬光柵間隙后返 回的光與被金屬光柵表面直接反射的光發(fā)生干涉，形成衍射光斑。

2.按權(quán)利要求1所述的集成光柵微懸臂梁生化傳感器，其特征在于：還包括：

覆于所述透明基底上表面的連接電極和底電極；

一包覆所述金屬光柵和底電極的絕緣層；

所述連接電極與所述錨點(diǎn)相連；所述微懸臂與絕緣層之間設(shè)有間隙。

3.按權(quán)利要求1或2所述的集成光柵微懸臂梁生化傳感器，其特征在于：所述 透明基底為玻璃或聚合物材質(zhì)的板型基底。

4.按權(quán)利要求1或2所述的集成光柵微懸臂梁生化傳感器，其特征在于：所述 的金屬光柵為金、鉻、鉑、鋁或銅光柵，其寬度0.1-20微米，間距0.1-20微米。

5.按權(quán)利要求2所述的集成光柵微懸臂梁生化傳感器，其特征在于：所述絕緣 層為二氧化硅絕緣層、氮化硅絕緣層或聚合物絕緣層，其厚度為50－2000nm。

6.按權(quán)利要求1或2所述的集成光柵微懸臂梁生化傳感器，其特征在于：所述 錨點(diǎn)和微懸臂的材質(zhì)選自鋁、銅、鎳、多晶硅、氮化硅、氧化硅或聚酰亞胺，所述 錨點(diǎn)和微懸臂選用相同材質(zhì)。

7.按權(quán)利要求1或2所述的集成光柵微懸臂梁生化傳感器，其特征在于：所述 生物探針附著層為1－100納米厚金層或?yàn)?.01－5微米厚聚合物層。

8.按權(quán)利要求1所述的集成光柵微懸臂梁生化傳感器，其特征在于：所述的特 異性生物探針為DNA生化探針、RNA生化探針、蛋白生化探針、抗原生化探針。